Cincin karbida tantalum

Cincin Tantalum Carbide (TAC) Vetek Semiconductor menggunakan grafit berkualitas tinggi sebagai bahan inti dan, berkat strukturnya yang unik, mampu mempertahankan bentuk dan sifat mekaniknya di bawah kondisi ekstrem tungku pertumbuhan kristal. Resistensi panas tinggi grafit memberikan stabilitas yang sangat baik di seluruhproses pertumbuhan kristal.

Lapisan luar cincin TAC ditutupi dengan aLapisan Tantalum Carbide, Bahan yang dikenal karena kekerasannya yang sangat tinggi, titik leleh lebih dari 3880 ° C, dan resistensi yang sangat baik terhadap korosi kimia, membuatnya sangat cocok untuk lingkungan operasi suhu tinggi. Lapisan Tantalum Carbide memberikan penghalang yang kuat untuk secara efektif mencegah reaksi kimia kekerasan dan memastikan bahwa inti grafit tidak terkorosi oleh gas tungku suhu tinggi.

SelamaPertumbuhan kristal silikon karbida (sic), Kondisi pertumbuhan yang stabil dan seragam adalah kunci untuk memastikan kristal berkualitas tinggi. Cincin pelapis tantalum carbide memainkan peran penting dalam mengatur aliran gas dan mengoptimalkan distribusi suhu di dalam tungku. Sebagai cincin pemandu gas, cincin TAC memastikan distribusi energi panas dan gas reaksi yang seragam, memastikan pertumbuhan yang seragam dan stabilitas kristal SIC.

Selain itu, konduktivitas termal tinggi grafit yang dikombinasikan dengan efek perlindungan dari Tantalum carbide yang dilapisi memungkinkan cincin panduan TAC untuk beroperasi secara stabil di lingkungan suhu tinggi yang diperlukan untuk pertumbuhan kristal SiC. Kekuatan strukturalnya dan stabilitas dimensi sangat penting untuk mempertahankan kondisi di tungku, yang secara langsung mempengaruhi kualitas kristal yang diproduksi. Dengan mengurangi fluktuasi termal dan reaksi kimia di dalam tungku, cincin pelapis TAC membantu menghasilkan kristal dengan sifat elektronik yang sangat baik untuk aplikasi semikonduktor berkinerja tinggi.

Cincin Tantalum Carbide Semikonduktor Vetek adalah komponen kunci daritungku pertumbuhan kristal silikon karbidadan menonjol karena daya tahannya yang sangat baik, stabilitas termal, dan ketahanan kimianya. Kombinasi unik dari inti grafit dan pelapisan TAC memungkinkannya untuk mempertahankan integritas struktural dan fungsionalitas dalam kondisi yang keras. Dengan mengontrol suhu dan aliran gas secara tepat di dalam tungku, cincin pelapis TAC memberikan kondisi yang diperlukan untuk produksi kristal SIC berkualitas tinggi, yang sangat penting untuk produksi komponen semikonduktor mutakhir.

Tantalum carbide (TAC) Lapisan pada penampang mikroskopis：