Kepala pancuran grafit cvd sic

Kepala shower grafit Veteksemicon CVD SIC yang dilapisi, permukaan rekayasa presisi memastikan distribusi gas yang seragam, yang sangat penting untuk mencapai deposisi film yang konsisten di seluruh wafer. ItuLapisan sictidak hanya meningkatkan ketahanan aus dan resistensi oksidasi, tetapi juga memperpanjang masa pakai dalam kondisi proses yang keras.

Diaplikasikan secara luas dalam fabrikasi wafer semikonduktor, epitaxy, dan deposisi film tipis, kepala shower grafit yang dilapisi CVD SIC adalah pilihan ideal bagi produsen yang mencari komponen proses yang dapat diandalkan, kemurnian tinggi, dan jangka panjang yang memenuhi tuntutan produksi semikonduktor generasi berikutnya.

Veteksemi CVD Silicon Carbide Showerhead diproduksi dari silikon karbida uap kimia yang diusir dengan kemurnian tinggi dan dioptimalkan untuk proses CVD dan MOCVD di industri semikonduktor, LED, dan elektronik canggih. Stabilitas termal yang luar biasa, ketahanan korosi, dan distribusi gas yang seragam memastikan operasi stabil jangka panjang dalam lingkungan suhu tinggi, lingkungan yang sangat korosif, secara signifikan meningkatkan pengulangan proses dan hasil.

Veteksemicon CVD SIC Dilapisi Grafit Keunggulan Inti Kepala Shower

● Kemurnian dan kepadatan yang sangat tinggi

Kepala shower grafit yang dilapisi CVD SIC diproduksi menggunakan proses CVD dengan kemurnian tinggi, memastikan kemurnian material ≥99,9995%, menghilangkan kotoran logam. Strukturnya yang tidak berpori secara efektif mencegah permeasi gas dan pelepasan partikel, menjadikannya ideal untuk epitaksis semikonduktor dan proses pengemasan lanjutan yang membutuhkan kebersihan yang sangat tinggi. Dibandingkan dengan komponen SIC atau grafit yang disinter tradisional, produk kami mempertahankan kinerja yang stabil bahkan setelah operasi suhu tinggi yang berkepanjangan, mengurangi frekuensi pemeliharaan dan biaya produksi.

● Stabilitas termal yang sangat baik

Dalam proses CVD dan MOCVD suhu tinggi, bahan konvensional rentan terhadap deformasi atau retak karena tegangan termal. CVD SIC Showerhead tahan terhadap suhu hingga 1600 ° C dan memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, memastikan stabilitas struktural selama peningkatan suhu yang cepat dan berkurang. Konduktivitas termal yang seragam lebih lanjut mengoptimalkan distribusi suhu dalam ruang reaksi, meminimalkan perbedaan laju pengendapan antara tepi dan pusat wafer, dan meningkatkan keseragaman film.

● Korosi anti-plasma

Selama proses etsa atau deposisi, gas yang sangat korosif (seperti CF₄, Cl₂, dan HBR) dengan cepat mengikis kuarsa konvensional atau komponen grafit. Bahan CVD SIC menunjukkan resistensi korosi yang luar biasa di lingkungan plasma, dengan umur 3-5 kali lipat dari bahan konvensional. Pengujian pelanggan yang sebenarnya telah menunjukkan bahwa bahkan setelah 2000 jam operasi kontinu, variasi ukuran pori tetap berada dalam ± 1%, memastikan distribusi aliran gas stabil jangka panjang.

● Umur panjang dan biaya perawatan rendah

Sementara komponen grafit tradisional membutuhkan penggantian yang sering, kepala shower CVD dengan SIC dilapisi mempertahankan kinerja yang stabil bahkan di lingkungan yang keras. Ini mengurangi biaya keseluruhan lebih dari 40%. Selain itu, kekuatan mekanik tinggi material mencegah kerusakan yang tidak disengaja selama penanganan atau pemasangan.

● Dukungan verifikasi rantai ekologis

Veteksemicon CVD silikon karbida pancuran 'Verifikasi rantai ekologis mencakup bahan baku untuk produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di semikonduktor dan bidang energi baru.

Parameter teknis

Proyek	Parameter
Bahan	CVD SIC (Opsi Pelapisan Tersedia)
Rentang diameter	100mm-450mm (dapat disesuaikan)
Toleransi ketebalan	± 0,05mm
Kekasaran permukaan	≤0.2μm
Proses yang berlaku	CVD/MOCVD/PECVD/ETCHING/EPITAXY

Bidang aplikasi utama

Arah aplikasi	Skenario khas
Manufaktur semikonduktor	Silicon Epitaxy, perangkat Gan/Gaas
Elektronik daya	Produksi wafer epitaxial sic
DIPIMPIN	Deposisi Substrat Sapphire MOCVD
Peralatan penelitian ilmiah	Sistem deposisi film tipis presisi tinggi

Dukungan verifikasi rantai ekologis

Veteksemicon CVD silikon karbida pancuran 'Verifikasi rantai ekologis mencakup bahan baku untuk produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di semikonduktor dan bidang energi baru.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampelHubungi Tim Dukungan Teknis kamiUntuk mengeksplorasi bagaimana veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.