Kepala pancuran gas sic solid

Kepala pancuran gas sic solid

VeTek Semiconductor adalah perusahaan terintegrasi yang didedikasikan untuk penelitian, produksi, dan penjualan. VeTek Semiconductor telah mengerjakan epitaksi semikonduktor, etsa, dan produk terkait proses lainnya selama bertahun-tahun, terutama pelapis CVD SiC, pelapis CVD TaC, dan CVD Solid SiC adalah produk andalan kami.

Kepala shower gas semikonduktor vetek SIC SIC biasanya digunakan untuk mendistribusikan gas prekursor secara merata ke permukaan substrat selama proses CVD semikonduktor. Menggunakan bahan CVD-SIC untuk shower head menawarkan beberapa keuntungan. Konduktivitas termal yang tinggi membantu menghilangkan panas yang dihasilkan dalam proses CVD, memastikan distribusi suhu yang seragam pada substrat. Selain itu, stabilitas kimia CVD SIC Shower Head memungkinkannya untuk menahan gas korosif dan lingkungan keras yang biasa ditemukan dalam proses CVD. 

Desain kepala shower CVD SIC dapat disesuaikan dengan sistem CVD tertentu dan persyaratan proses. Namun, mereka biasanya terdiri dari komponen piring atau berbentuk disk dengan serangkaian lubang atau slot yang dibor presisi. Pola lubang dan geometri dirancang dengan hati -hati untuk memastikan distribusi gas yang seragam dan kecepatan aliran di atas permukaan substrat.

Sifat Fisik SiC Padat