Cincin Grafit Dilapisi CVD TaC

Informasi produk umum

Istilah bisnis produk

Aplikasi: Cincin Dilapisi Veteksemicon CVD TaC dikembangkan khusus untukProses pertumbuhan kristal SiC. Sebagai komponen penahan beban utama dalam ruang reaksi suhu tinggi, lapisan TaC uniknya secara efektif mengisolasi korosi uap silikon, mencegah kontaminasi pengotor, dan memastikan stabilitas struktural dalam lingkungan suhu tinggi jangka panjang, memberikan jaminan yang dapat diandalkan untuk memperoleh kristal berkualitas tinggi.

Layanan yang dapat diberikan: analisis skenario aplikasi pelanggan, pencocokan materi, pemecahan masalah teknis.

Profil perusahaane：Veteksemicon memiliki 2 laboratorium, tim ahli dengan pengalaman material selama 20 tahun, dengan kemampuan R&D dan produksi, pengujian dan verifikasi.

Saingan saya CVD TaC Coated Ring adalah bahan habis pakai inti yang dirancang untuk deposisi uap kimia bersuhu tinggi dan pertumbuhan kristal bahan semikonduktor canggih, khususnya silikon karbida. Kami menggunakan teknologi pengendapan uap kimia yang unik dan optimal untuk menghasilkan endapan yang padat dan seragamlapisan tantalum karbidapada substrat grafit dengan kemurnian tinggi. Dengan ketahanan suhu tinggi yang luar biasa, ketahanan terhadap korosi yang sangat baik, dan masa pakai yang sangat lama, produk ini secara efektif melindungi kualitas kristal dan secara signifikan mengurangi biaya produksi Anda secara keseluruhan, menjadikannya pilihan penting untuk proses yang memerlukan stabilitas proses dan hasil tertinggi.

Parameter Teknis:

Keunggulan inti Cincin Dilapisi Veteksemicon CVD TaC

Kemurnian dan stabilitas yang tak tertandingi

Dalam lingkungan ekstrim pertumbuhan kristal SiC, dimana suhu melebihi 2000°C, bahkan sedikit pengotor dapat merusak sifat listrik seluruh kristal. KitaLapisan CVD TaC, dengan kemurniannya yang luar biasa, menghilangkan kontaminasi dari ring secara mendasar. Selain itu, stabilitas suhu tinggi yang sangat baik memastikan bahwa lapisan tidak akan terurai, menguap, atau bereaksi dengan gas proses selama siklus suhu tinggi dan termal yang berkepanjangan, sehingga menyediakan lingkungan fase uap yang murni dan stabil untuk pertumbuhan kristal.

Korosi yang sangat baik danketahanan terhadap erosi

Korosi grafit oleh uap silikon adalah penyebab utama kegagalan dan kontaminasi partikel pada cincin grafit tradisional. Lapisan TaC kami, dengan reaktivitas kimia yang sangat rendah dengan silikon, secara efektif menghalangi uap silikon, melindungi substrat grafit di bawahnya dari erosi. Hal ini tidak hanya secara signifikan memperpanjang umur cincin itu sendiri tetapi, yang lebih penting, secara signifikan mengurangi partikel yang dihasilkan oleh korosi dan pengelupasan substrat, sehingga secara langsung meningkatkan hasil pertumbuhan kristal dan kualitas internal.

Performa mekanis dan masa pakai yang luar biasa

Lapisan TaC yang dibentuk melalui proses CVD memiliki kepadatan dan kekerasan Vickers yang sangat tinggi, sehingga sangat tahan terhadap keausan dan benturan fisik. Dalam aplikasi praktis, produk kami dapat memperpanjang masa pakai 3 hingga 8 kali lipat dibandingkan cincin grafit tradisional atau cincin berlapis karbon/silikon karbida pirolitik. Hal ini berarti lebih sedikit waktu henti untuk penggantian dan pemanfaatan peralatan yang lebih tinggi, sehingga secara signifikan mengurangi keseluruhan biaya produksi kristal tunggal.

Kualitas lapisan yang sangat baik

Kinerja suatu lapisan sangat bergantung pada keseragaman dan kekuatan ikatannya. Proses CVD kami yang dioptimalkan memungkinkan kami mencapai ketebalan lapisan yang sangat seragam bahkan pada geometri cincin yang paling rumit sekalipun. Lebih penting lagi, lapisan tersebut membentuk ikatan metalurgi yang kuat dengan substrat grafit dengan kemurnian tinggi, secara efektif mencegah pengelupasan, retak, atau pengelupasan yang disebabkan oleh perbedaan koefisien ekspansi termal selama siklus pemanasan dan pendinginan yang cepat, sehingga memastikan kinerja andal yang berkelanjutan sepanjang siklus hidup produk.

Dukungan verifikasi rantai ekologi

Verifikasi rantai ekologi Veteksemicon CVD TaC Coated Ring mencakup bahan mentah hingga produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di bidang semikonduktor dan energi baru.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakanhubungi Tim Dukungan Teknis kamiuntuk mengeksplorasi bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.