Perahu grafit PECVD

Veteksemicon adalah produsen dan pemasok perahu grafit PECVD China Profesional.

Apa peran kapal grafit PECVD (Coating) PECVD Vetek Semiconductor?

Sebagai pembawa wafer silikon normal yang diproduksi oleh proses pelapisan, perahu grafit memiliki banyak wafer perahu dengan interval tertentu dalam struktur, dan ada ruang yang sangat sempit antara dua wafer perahu yang berdekatan, dan wafer silikon ditempatkan di kedua sisi pintu kosong.

Because the PECVD graphite boat material graphite has good electrical and thermal conductivity properties, the AC voltage is asked in the two adjacent boats, so that the two adjacent boats form positive and negative poles, when there is a certain pressure and gas in the chamber, glow discharge occurs between the two boats, glow discharge can decompose the SiH4 and NH3 gas in the space, forming Si and N ions. Molekul Sinx terbentuk dan diendapkan pada permukaan wafer silikon untuk mencapai tujuan lapisan.

Kapal grafit PECVD biasanya digunakan sebagai pembawa untuk membawa wafer silikon atau bahan lain untuk memastikan penanganan yang aman dan transportasi bahan -bahan ini dalam lingkungan suhu tinggi dan plasma. Misalnya, dalam proses pembuatan semikonduktor, kapal grafit PECVD Veteksemicon dirancang untuk proses deposisi uap kimia yang ditingkatkan plasma. Kapal grafit memainkan peran dalam menyimpan lapisan pasif silikon nitrida (sinₓ) dan film konstanta dielektrik rendah (Low-K).

Di bidang fotovoltaik, perahu grafit PECVD digunakan untuk menyiapkan sel surya film tipis berbasis silikon (seperti silikon amorf A-Si: H) dan lapisan pasif punggung sel Perc. Kapal grafit PECVD Veteksemicon mengoptimalkan proses pelapisan dengan secara efektif jarak wafer silikon dan menginduksi debit cahaya untuk mencapai deposisi pelapisan yang seragam.

Lebih penting lagi, Veteksemicon dapat menyediakan produk dan layanan teknis yang disesuaikan, dan dapat merancang dan memproduksi produk perahu grafit dengan spesifikasi yang berbeda sesuai dengan persyaratan proses Anda yang sebenarnya. Kami dengan tulus berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda.

Dan Keuntungan dari perahu grafit PECVD dibandingkan dengan kapal grafit biasa, cukup klik