Produk

Pelat Pembawa Silikon Karbida Veteksemicon Untuk Etsa LED, yang dirancang khusus untuk pembuatan chip LED, adalah bahan habis pakai inti dalam proses etsa. Terbuat dari silikon karbida kemurnian tinggi yang disinter secara presisi, ia menawarkan ketahanan kimia yang luar biasa dan stabilitas dimensi suhu tinggi, secara efektif menahan korosi dari asam kuat, basa, dan plasma. Sifat kontaminasinya yang rendah memastikan hasil yang tinggi untuk wafer epitaksi LED, sementara daya tahannya, jauh melebihi bahan tradisional, membantu pelanggan mengurangi biaya pengoperasian secara keseluruhan, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk meningkatkan efisiensi dan konsistensi proses etsa.

Perahu grafit Veteksemicon untuk PECVD dibuat dengan mesin presisi dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dirancang khusus untuk proses pengendapan uap kimia yang ditingkatkan plasma. Memanfaatkan pemahaman mendalam kami tentang material medan termal semikonduktor dan kemampuan pemesinan presisi, kami menawarkan perahu grafit dengan stabilitas termal yang luar biasa, konduktivitas yang sangat baik, dan masa pakai yang lama. Perahu-perahu ini dirancang untuk memastikan deposisi film tipis yang sangat seragam di setiap wafer dalam lingkungan proses PECVD yang menuntut, sehingga meningkatkan hasil proses dan produktivitas.

Cincin Grafit Berlapis TaC CVD oleh Veteksemicon dirancang untuk memenuhi tuntutan ekstrem pemrosesan wafer semikonduktor. Memanfaatkan teknologi Deposisi Uap Kimia (CVD), lapisan Tantalum Carbide (TaC) yang padat dan seragam diterapkan pada substrat grafit dengan kemurnian tinggi, sehingga menghasilkan kekerasan, ketahanan aus, dan kelembaman kimia yang luar biasa. Dalam fabrikasi semikonduktor, Cincin Grafit Dilapisi CVD TaC banyak digunakan dalam MOCVD, etsa, difusi, dan ruang pertumbuhan epitaksi, berfungsi sebagai komponen struktural atau penyegelan utama untuk pembawa wafer, susceptor, dan rakitan pelindung. Menantikan konsultasi Anda selanjutnya.

Cincin grafit berlapis TaC berpori yang diproduksi oleh VETEK menggunakan substrat grafit berpori ringan dan dilapisi dengan lapisan tantalum karbida dengan kemurnian tinggi, memiliki ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi, gas korosif, dan erosi plasma

Dayung Kantilever Silikon Karbida dari Veteksemicon dirancang untuk pemrosesan wafer tingkat lanjut dalam manufaktur semikonduktor. Terbuat dari SiC dengan kemurnian tinggi, ia memberikan stabilitas termal yang luar biasa, kekuatan mekanik yang unggul, dan ketahanan yang sangat baik terhadap suhu tinggi dan lingkungan korosif. Fitur-fitur ini memastikan penanganan wafer yang presisi, masa pakai yang lebih lama, dan kinerja yang andal dalam proses seperti MOCVD, epitaksi, dan difusi. Selamat datang untuk berkonsultasi.

Veteksemicon SiC Ceramic Vacuum Chuck untuk Wafer dirancang untuk memberikan presisi dan keandalan luar biasa dalam pemrosesan wafer semikonduktor. Diproduksi dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, ini memastikan konduktivitas termal yang sangat baik, ketahanan kimia, dan kekuatan mekanik yang unggul, menjadikannya ideal untuk aplikasi yang menuntut seperti etsa, deposisi, dan litografi. Permukaannya yang sangat datar menjamin dukungan wafer yang stabil, meminimalkan cacat, dan meningkatkan hasil proses. chuck vakum ini adalah pilihan tepercaya untuk penanganan wafer berkinerja tinggi.