Cincin tepi sic

Di bidang manufaktur semikonduktor, cincin tepi sic, sebagai komponen inti dari peralatan pemrosesan wafer, merevolusi lanskap industri dengan sifat material mereka. Nilai komponen presisi ini yang terbuat dari kristal tunggal silikon karbida terletak tidak hanya pada kandungan berteknologi tinggi, tetapi juga dalam peningkatan yang signifikan dalam hasil dan optimalisasi biaya operasi yang dapat dibawa ke produsen chip.

Karakteristik struktural cincin tepi sic

Cincin tepi silikon karbida adalah komponen konsumsi utama dalam peralatan etsa semikonduktor dan terbuat dari bahan silikon karbida silikon tinggi yang disiapkan dengan metode pengendapan uap kimia (CVD). Diameter struktur annular biasanya 200-450mm, dan ketebalannya dikendalikan dalam 5-15mm, menampilkan karakteristik berikut:

1. Toleransi Ekstrem: Dapat menahan lingkungan suhu tinggi 1500 ℃

2. Stabilitas plasma: konstanta dielektrik 9.7, tegangan kerusakan 3MV/cm

3. Akurasi geometris: Kesalahan kebulatan ≤0.05mm, kekasaran permukaan Ra <0.2μm

Terobosan dalam proses pembuatan

The modern preparation process adopts a three-stage method:

1. Pembentukan matriks: Pembentukan penekanan isostatik memastikan kepadatan yang seragam

2. Sintering suhu tinggi: pengobatan densifikasi di atmosfer inert pada 2100 ℃

3. Modifikasi Permukaan: Lapisan pelindung skala nano dibentuk melalui etsa ion reaktif (RIE). Penelitian terbaru menunjukkan bahwa masa pakai cincin tepi silikon karbida yang didoping dengan boron 3% meningkat sebesar 40%, dan tingkat kontaminasi wafer dikurangi ke tingkat 0,01ppm

Skenario Aplikasi

Ini menunjukkan ketidakjelasan dalam proses di bawah 5nm:

2. Keseragaman etsa: Ini dapat mempertahankan deviasi laju etsa ± 1,5% di tepi wafer

3. Kontrol Polusi: Mengurangi polusi logam sebesar 92% dibandingkan dengan bahan kuarsa tradisional

4. Siklus Pemeliharaan: Ini dapat beroperasi terus menerus selama 1500 jam dalam plasma CF4/O2

Veteksemicon telah mencapai terobosan dalam produksi domestik cincin tepi sic, yang dapat menghemat banyak pengeluaran biaya. Selamat datang untuk menghubungi kami kapan saja!