Bagian Cadangan Pelapis TAC

Itu semikonduktorPelat pelapis TACadalah bahan khusus yang banyak digunakan disemikonduktorproses pembuatan. Dikombinasikan dengan ketahanan dan ketahanan aus yang tinggi, ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, koefisien gesekan rendah dan konduktivitas termal yang baik, pelat pelapis TAC memainkan peran yang tak tergantikan dalam banyak hubungan pemrosesan semikonduktor.

Secara umum, aplikasiPiring Dilapisi TACDalam pemrosesan semikonduktor adalah sebagai berikut:

● Substrat Pertumbuhan CVD/ALD: Resistensi suhu tinggi, stabilitas kimia dan koefisien gesekan rendah pelat yang dilapisi TAC menjadikannya substrat pertumbuhan CVD/ALD yang ideal. Ini dapat memberikan lingkungan pertumbuhan yang stabil untuk memastikan keseragaman dan kepadatan film.

●  Pelat topeng etsa: Kekerasan tinggi dan resistensi korosi pelat yang dilapisi TAC memungkinkan mereka untuk menahan proses energi tinggi seperti etsa plasma, seperti etsa pelat topeng, melindungi film yang mendasarinya.

●  CMP Polishing Pad: Resistensi keausan dan koefisien gesekan rendah pelat yang dilapisi TAC menjadikannya bahan yang ideal untuk bantalan pemolesan CMP, yang secara efektif dapat menghilangkan partikel dan cacat pada permukaan film.

●  Tabung tungku suhu tinggi: Resistensi suhu tinggi dan resistansi korosi pelat yang dilapisi TAC memungkinkannya untuk digunakan sebagai tabung tungku dalam tungku suhu tinggi untuk anil suhu tinggi, difusi dan proses lainnya.

Parameter teknis CVD TAC Coating：

VETEK SEMICONDUCTOR TAC TOPLE CARE CARE PRODUS TOKO：