Bagian Penerima EPI

Informasi produk umum

Istilah bisnis produk

✔ Aplikasi: Dalam mengejar kinerja dan hasil terbaik dalam proses epitaksi SiC, Veteksemicon EPI Susceptor memberikan stabilitas dan keseragaman termal yang sangat baik, menjadi dukungan utama untuk meningkatkan kinerja perangkat daya dan RF serta mengurangi biaya keseluruhan.

✔ Layanan yang dapat diberikan: analisis skenario aplikasi pelanggan, pencocokan materi, pemecahan masalah teknis. 

✔ Profil Perusahaan：Veteksemicon memiliki 2 laboratorium, tim ahli dengan pengalaman material selama 20 tahun, dengan kemampuan R&D dan produksi, pengujian dan verifikasi.

Keunggulan inti Bagian Kontraktor EPI Saingan saya

1. Pastikan keseragaman tertinggi

Dalam proses epitaksi silikon karbida, bahkan fluktuasi ketebalan tingkat mikron dan ketidakhomogenan doping secara langsung berdampak pada kinerja dan hasil perangkat akhir. Veteksemicon EPI Susceptor mencapai distribusi medan termal yang optimal dalam ruang reaksi melalui simulasi termodinamika dan desain struktural yang tepat. Pemilihan substrat konduktivitas termal tinggi kami, dikombinasikan dengan proses perawatan permukaan yang unik, memastikan bahwa perbedaan suhu di setiap titik pada permukaan wafer dikontrol dalam rentang yang sangat kecil bahkan di bawah rotasi kecepatan tinggi dan lingkungan bersuhu tinggi. Nilai langsung yang dihasilkan dari hal ini adalah lapisan epitaksi batch-to-batch yang sangat mudah direproduksi dengan keseragaman yang sangat baik, meletakkan dasar yang kokoh untuk pembuatan chip daya berkinerja tinggi dan sangat konsisten.

2. Menolak tantangan suhu tinggi

Proses epitaksi SiC biasanya memerlukan pengoperasian yang lama pada suhu melebihi 1500°C, sehingga menimbulkan tantangan berat bagi material apa pun. Veteksemicon Susceptor menggunakan grafit yang ditekan secara isostatis yang diolah secara khusus, yang kekuatan lentur suhu tinggi dan ketahanan mulurnya jauh melebihi grafit biasa. Bahkan setelah ratusan jam siklus termal suhu tinggi yang terus-menerus, produk kami mempertahankan geometri awal dan kekuatan mekaniknya, secara efektif mencegah risiko wafer melengkung, selip, atau kontaminasi rongga proses yang disebabkan oleh deformasi baki, yang pada dasarnya memastikan kelangsungan dan keamanan aktivitas produksi.

3. Memaksimalkan stabilitas proses

Gangguan produksi dan pemeliharaan yang tidak terencana merupakan pembunuh biaya utama dalam pembuatan wafer. Veteksemicon menganggap stabilitas proses sebagai metrik inti untuk Susceptor. Lapisan CVD SiC kami yang dipatenkan padat, tidak berpori, dan memiliki permukaan halus seperti cermin. Hal ini tidak hanya secara signifikan mengurangi pelepasan partikel pada aliran udara bersuhu tinggi namun juga secara signifikan memperlambat adhesi produk samping reaksi (seperti SiC polikristalin) ke permukaan baki. Ini berarti ruang reaksi Anda dapat tetap bersih untuk jangka waktu yang lebih lama, memperpanjang interval antara pembersihan dan pemeliharaan rutin, sehingga meningkatkan pemanfaatan dan hasil peralatan secara keseluruhan.

4. Memperpanjang umur layanan

Sebagai komponen consumable, frekuensi penggantian suseptor berdampak langsung pada biaya operasional produksi. Veteksemicon memperpanjang umur produk melalui pendekatan teknologi ganda: "optimasi substrat" ​​dan "peningkatan lapisan". Substrat grafit dengan kepadatan tinggi dan porositas rendah secara efektif memperlambat penetrasi dan korosi substrat oleh gas proses; secara bersamaan, lapisan SiC kami yang tebal dan seragam bertindak sebagai penghalang yang kuat, sehingga secara signifikan menekan sublimasi pada suhu tinggi. Pengujian di dunia nyata menunjukkan bahwa, dalam kondisi proses yang sama, suseptor Veteksemicon menunjukkan tingkat penurunan kinerja yang lebih lambat dan masa pakai efektif yang lebih lama, sehingga menghasilkan biaya pengoperasian per wafer yang lebih rendah.

5. Dukungan verifikasi rantai ekologi

Verifikasi rantai ekologi Veteksemicon EPI Susceptor Part mencakup bahan mentah hingga produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di bidang semikonduktor dan energi baru.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakan hubungi Tim Dukungan Teknis kami untuk mempelajari bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.

Bidang aplikasi utama

Gudang produk Saingan saya