Pelat keramik silikon karbida (sic) berpori: bahan kinerja tinggi dalam manufaktur semikonduktor

Ⅰ. Apa itu pelat keramik sic berpori?

Pelat keramik silikon karbida berpori adalah bahan keramik struktur berpori yang terbuat dari silikon karbida (sic) dengan proses khusus (seperti berbusa, pencetakan 3D atau menambahkan agen pembentuk pori). Fitur intinya meliputi:

● Porositas yang bisa dikendalikan: 30% -70% dapat disesuaikan untuk memenuhi kebutuhan berbagai skenario aplikasi.

● Distribusi ukuran pori yang seragam: Pastikan stabilitas transmisi gas/cairan.

● Desain ringan: Mengurangi konsumsi energi peralatan dan meningkatkan efisiensi operasi.

Ⅱ.Five Core Physical Properti dan Nilai Pengguna Pelat Keramik SIC Berpori

1. Resistensi suhu tinggi dan manajemen termal (terutama untuk menyelesaikan masalah kegagalan termal peralatan)

● Resistensi suhu ekstrem: Suhu kerja kontinu mencapai 1600 ° C (30% lebih tinggi dari keramik alumina).

● Konduktivitas termal efisiensi tinggi: Koefisien konduktivitas termal adalah 120 W/(M · K), disipasi panas cepat melindungi komponen sensitif.

● Ekspansi termal ultra-rendah: Koefisien ekspansi termal hanya 4,0 × 10⁻⁶/° C, cocok untuk operasi di bawah suhu tinggi ekstrem, secara efektif menghindari deformasi suhu tinggi.

2. Stabilitas kimia (mengurangi biaya perawatan di lingkungan korosif)

● Tahan terhadap asam dan alkali yang kuat: dapat menahan media korosif seperti HF dan H₂SO₄

● Resisten terhadap erosi plasma: Kehidupan dalam peralatan etsa kering meningkat lebih dari 3 kali

3. Kekuatan Mekanik (Perpanjangan Umur Peralatan)

● Kekerasan tinggi: Kekerasan mohs setinggi 9.2, dan ketahanan aus lebih baik dari stainless steel

● Kekuatan menekuk: 300-400 MPa, wafer pendukung tanpa warping

4. Fungsionalisasi struktur berpori (meningkatkan hasil proses)

● Distribusi gas seragam: Keseragaman film proses CVD meningkat menjadi 98%.

● Kontrol adsorpsi yang tepat: Akurasi penentuan posisi chuck elektrostatik (ESC) adalah ± 0,01mm.

5. Jaminan Kebersihan (sesuai dengan standar semikonduktor)

● Kontaminasi logam nol: Kemurnian> 99,99%, menghindari kontaminasi wafer

● Karakteristik pembersihan sendiri: Struktur mikropori mengurangi deposisi partikel

AKU AKU AKU. Empat aplikasi utama pelat SIC berpori di manufaktur semikonduktor

Skenario 1: Peralatan Proses Suhu Tinggi (Difusi Furnace/Annealing Furnace)

● Titik nyeri pengguna: Bahan tradisional mudah dideformasi, mengakibatkan pemotongan wafer

● Solusi: Sebagai pelat pembawa, ini beroperasi secara stabil di bawah lingkungan 1200 ° C

● Perbandingan data: Deformasi termal 80% lebih rendah dari alumina

Skenario 2: Deposisi Uap Kimia (CVD)

● Titik nyeri pengguna: Distribusi gas yang tidak rata memengaruhi kualitas film

● Solusi: Struktur berpori membuat keseragaman difusi gas reaksi mencapai 95%

● Kasus industri: Diterapkan pada 3D NAND memori flash deposisi film tipis

Skenario 3: Peralatan etsa kering

● Titik nyeri pengguna: Erosi plasma shoKehidupan komponen rtens

● Solusi: Kinerja anti-plasma memperluas siklus pemeliharaan hingga 12 bulan

● Efektivitas biaya: Downtime peralatan berkurang sebesar 40%

Skenario 4: Sistem Pembersihan Wafer

● Titik nyeri pengguna: Penggantian bagian yang sering terjadi karena korosi asam dan alkali

● Solusi: Resistensi asam HF membuat masa pakai mencapai lebih dari 5 tahun

● Data verifikasi: Tingkat retensi kekuatan> 90% setelah 1000 siklus pembersihan

Iv. 3 keuntungan seleksi utama dibandingkan dengan bahan tradisional

V. FAQ untuk pengguna industri

T1: Apakah pelat keramik SIC berpori cocok untuk produksi perangkat gallium nitrida (GAN)?

Menjawab: Ya, ketahanan suhu tinggi dan konduktivitas termal yang tinggi sangat cocok untuk proses pertumbuhan epitaxial GaN dan telah diterapkan pada manufaktur chip stasiun pangkalan 5G.

T2: Bagaimana memilih parameter porositas?

Menjawab: Pilih sesuai dengan skenario aplikasi:

● Gas distribution: 40% -50% Porositas terbuka direkomendasikan

● Adsorpsi vakum: 60% -70% porositas tinggi direkomendasikan

T3: Apa bedanya dengan keramik silikon karbida lainnya?

Menjawab: Dibandingkan dengan padatKeramik sic, Struktur berpori memiliki keunggulan berikut:

● Pengurangan berat badan 50%

● 20 kali peningkatan luas permukaan tertentu

● Pengurangan 30% dalam tegangan termal