Cincin Grafit Berlapis Tantalum Karbida (TaC) Berpori

Fitur Produk

• Peralatan Inti:Ditujukan untuk tungku pertumbuhan kristal tunggal SiC yang beroperasi dengan teknologi PVT.
• Aplikasi Utama:Cocok untuk sistem medan termal dalam pertumbuhan kristal SiC semikonduktor generasi ketiga.
• Stabilitas Suhu Tinggi:Lapisan TaC mempertahankan integritas struktural pada suhu ultra-tinggi, mendukung pengoperasian yang lebih lama di lingkungan termal yang menuntut.
• Perlindungan Korosi:Lapisan CVD TaC yang padat melindungi substrat grafit dari uap silikon, gas pembawa karbon, dan spesies korosif lainnya yang ditemui selama pertumbuhan SiC.
• Kinerja Medan Termal:Basis grafit berpori membantu distribusi panas dan transportasi uap, yang membantu menjaga kondisi pertumbuhan yang stabil.
• Kontaminasi Rendah:Bahan awal dengan kemurnian tinggi dan lapisan padat membatasi pelepasan pengotor dan pelepasan partikel, sehingga menguntungkan kualitas kristal.
• Umur yang Diperpanjang:Lapisan TaC meningkatkan ketahanan oksidasi, kekerasan permukaan, dan daya tahan keseluruhan pada suhu tinggi.
• Adhesi Lapisan:Proses CVD menghasilkan ikatan yang kuat antara film TaC dan substrat grafit.
• Opsi Kustom:Dimensi, detail struktural, dan spesifikasi pelapisan dapat disesuaikan agar sesuai dengan kebutuhan tungku pertumbuhan SiC yang berbeda.

Spesifikasi Teknis

Aplikasi

Cincin Grafit Berlapis TaC Berpori VETEK terutama digunakan dalam:

• Pertumbuhan kristal tunggal SiC melalui PVT
• Manufaktur semikonduktor generasi ketiga
• produksi substrat SiC
• Sistem medan termal dalam tungku pertumbuhan kristal
• Pemrosesan semikonduktor suhu tinggi
• Komponen zona panas grafit tingkat lanjut

Pertanyaan Umum

1. Apa itu Cincin Grafit Berlapis TaC Berpori?

Ini adalah komponen medan termal untuk tungku pertumbuhan kristal SiC. Produk ini menggabungkan struktur grafit berpori dengan lapisan CVD TaC untuk menghasilkan manajemen termal dan perlindungan terhadap korosi suhu tinggi.

2. Mengapa menggunakan lapisan TaC untuk pertumbuhan kristal SiC?

TaC memberikan stabilitas suhu tinggi dan ketahanan terhadap bahan kimia. Ini melindungi grafit dari serangan uap silikon dan membantu menjaga lingkungan pertumbuhan yang bersih dan stabil.

3. Apa yang ditawarkan oleh struktur grafit berpori?

Desain berpori mendukung distribusi termal dan transportasi gas di dalam tungku, yang berkontribusi terhadap kondisi pertumbuhan kristal SiC yang stabil.

4. Dapatkah VETEK memproduksi cincin grafit berlapis TaC yang disesuaikan?

Ya. VETEK menawarkan penyesuaian berdasarkan gambar pelanggan, desain tungku, dan kebutuhan proses, termasuk dimensi, konfigurasi substrat, dan parameter pelapisan.