Apa itu Tantalum Carbide Tac Coating? - Veteksemicon

Apa itu Tantalum carbide (TAC)?

Bahan keramik tantalum carbide (TAC) memiliki titik leleh hingga 3880 ℃ dan merupakan senyawa dengan titik leleh yang tinggi dan stabilitas kimia yang baik. Ini dapat mempertahankan kinerja yang stabil di lingkungan suhu tinggi. Selain itu, ia juga memiliki ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi kimia, dan kompatibilitas kimia dan mekanis yang baik dengan bahan karbon, menjadikannya bahan pelapis pelindung substrat grafit yang ideal. 

Lapisan Tantalum Carbidedapat secara efektif melindungi komponen grafit dari efek amonia panas, hidrogen, uap silikon, dan logam cair di lingkungan penggunaan yang keras, secara signifikan memperpanjang masa pakai komponen grafit dan menekan migrasi kotoran dalam grafit, memastikan kualitas dariepitaxialDanPertumbuhan Kristal.

Gambar 1. Komponen pelapis tantalum karbida yang umum

Persiapan TAC Coating By CVD Proses

Chemical Vapor Deposition (CVD) adalah metode yang paling matang dan optimal untuk memproduksi pelapisan TAC pada permukaan grafit.

Menggunakan TACL5 dan Propylene sebagai sumber karbon dan tantalum masing-masing, dan argon sebagai gas pembawa, uap TACL5 yang diuapkan suhu tinggi dimasukkan ke dalam ruang reaksi. Pada suhu dan tekanan target, uap material prekursor menyerap pada permukaan grafit, menjalani serangkaian reaksi kimia yang kompleks seperti dekomposisi dan kombinasi karbon dan sumber tantalum, serta serangkaian reaksi permukaan seperti difusi dan desorpsi produk sampingan dari prekursor. Akhirnya, lapisan pelindung yang padat terbentuk pada permukaan grafit, yang melindungi grafit dari keberadaan stabil di bawah kondisi lingkungan yang ekstrem dan secara signifikan memperluas skenario aplikasi bahan grafit.

Gambar 2.Prinsip Proses Deposisi Uap Kimia (CVD)

Untuk informasi lebih lanjut tentang prinsip -prinsip dan proses mempersiapkan pelapisan CVD TAC, silakan merujuk ke artikel:Bagaimana cara menyiapkan pelapisan CVD TAC?

Mengapa Memilih Veteksemicon?

SemiconTerutama menyediakan produk tantalum carbide: cincin pemandu TAC, TAC dilapisi tiga cincin kelopak,TAC Coating Crucible, Grafit berpori pelapis TAC banyak digunakan adalah proses pertumbuhan kristal sic; Grafit berpori dengan cincin pemandu berlapis TAC, TAC,Pembawa Wafer Grafit TAC, TAC Coating Stoels,Kerentanan planet, Dan produk pelapis tantalum carbide ini banyak digunakanProses Epitaxy SiCDanSIC Proses Pertumbuhan Kristal Tunggal.

Gambar 3.Dokter hewanProduk Pelapisan Tantalum Carbide yang paling populer di EK