Kepala shower berbentuk cakram SIC yang solid

Peran kepala shower berbentuk cakram SIC padat dalam proses CVD adalah untuk mendistribusikan gas reaksi secara merata di atas area pengendapan sehingga gas dapat disebarkan secara merata di seluruh reaktor untuk mendapatkan film datar dan seragam.

Kepala shower sic padat diatur di bagian atas tungku CVD atau dekat saluran masuk gas. Gas reaksi memasuki struktur berbentuk cakram melalui lubang yang didistribusikan di kepala kamar mandi dan berdifusi di sepanjang permukaan kepala pancuran. Melalui beberapa desain saluran dan outlet yang didistribusikan secara merata, gas reaksi dapat mengalir secara merata ke seluruh area reaktor, menghindari konsentrasi atau turbulensi, dan memastikan konsistensi ketebalan lapisan yang diendapkan pada substrat.

Pada saat yang sama, struktur kepala shower bentuk cakram semikonduktor juga memiliki efek difusi, yang secara efektif dapat mengurangi laju aliran gas, sehingga dapat disebarkan secara merata di outlet nozzle, dan mengurangi dampak perubahan aliran gas lokal pada efek pengendapan. Ini membantu untuk menghindari dampak gas langsung pada substrat dan mencegah masalah deposisi yang tidak merata.

Dari perspektif material, kepala shower gas SiC padat terbuat dari bahan SIC resisten suhu tinggi, tahan korosi, dan kuat dengan stabilitas yang sangat tinggi. Ini dapat bekerja secara stabil untuk waktu yang lama di tungku CVD dan memiliki umur yang panjang.

Vetek Semiconductor menyediakan layanan khusus berkualitas tinggi. Bentuk dan tata letak lubang dari kepala shower berbentuk cakram SIC padat dapat disesuaikan secara fleksibel sesuai dengan persyaratan proses pelanggan untuk beradaptasi dengan berbagai jenis gas, laju aliran dan bahan pengendapan. Untuk ukuran reaktor atau ukuran substrat yang berbeda, kepala shower berbentuk cakram dengan diameter dan distribusi lubang yang berbeda dapat disesuaikan untuk mengoptimalkan efek distribusi gas.

Vetek Semiconductor memiliki proses matang dan teknologi canggih untuk produk shower semikonduktor SIC yang solid, membantu sejumlah besar pelanggan untuk mencapai kemajuan berkelanjutan dalam proses CVD. Vetek Semiconductor berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Sifat fisik sic padat

Itu semikonduktorToko produksi shower shower berbentuk cakram solid