Pelat dukungan alas pelapis TAC

Vetek Semiconductor adalah produsen & pemasok China yang terutama memproduksi cvd tac coating cartceptor, cincin saluran masuk, wafer chunck, pemegang berlapis tac, pelat dukungan alas pelapis TAC dengan pengalaman bertahun -tahun. Berharap untuk membangun hubungan bisnis dengan Anda.

Keramik TAC memiliki titik leleh hingga 3880 ℃, kekerasan tinggi (kekerasan Mohs 9 ~ 10), konduktivitas termal besar (22W · m^-1· K⁻¹), kekuatan lentur besar (340 ~ 400mpa), dan koefisien ekspansi termal kecil (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹), dan menunjukkan stabilitas termokimia yang sangat baik dan sifat fisik yang sangat baik. Ini memiliki kompatibilitas kimia dan mekanis yang baik dengan bahan grafit dan c/c, sehingga pelapisan TAC banyak digunakan dalam perlindungan termal aerospace, pertumbuhan kristal tunggal dan reaktor epitaxial seperti Aixtron, reaktor EPI LPE dalam industri semikonduktor. 

Grafit yang dilapisi TAC memiliki resistensi korosi kimia yang lebih baik daripada tinta batu telanjang atau grafit yang dilapisi sic, dapat digunakan secara stabil pada suhu tinggi 2200 °, tidak bereaksi dengan banyak elemen logam, adalah generasi ketiga dari pengendalian kristal tunggal dan wafer yang berkualitas tinggi, pengendalian wafer dari kinerja terbaik, dapat meningkatkan proses suhu dan wafer yang berkualitas tinggi, secara signifikan dapat meningkatkan proses suhu dan pengendalian wafer dengan kinerja terbaik secara signifikan meningkatkan proses suhu dan wafer. wafer. Ini sangat cocok untuk menumbuhkan kristal tunggal GaN atau ALN dalam peralatan MOCVD dan kristal tunggal SiC dalam peralatan PVT, dan kualitas kristal tunggal yang ditumbuhkan jelas ditingkatkan.