Pelat rotasi pelapis TAC

Pelat rotasi pelapisan TAC Vetek Semiconductor memiliki komposisi kemurnian tinggi, kandungan pengotor kurang dari 5ppm, dan struktur yang padat dan seragam, yang banyak digunakan dalam sistem EPI LPE, sistem Aixtron, sistem nuflare, sistem Tel CVD, sistem VEECO, sistem TSI.

● Sifat mekanik yang sangat baik:

Kekerasan lapisan hingga 2300hv, dengan ketahanan aus yang sangat baik.

Adhesi antara lapisan dan substrat kuat, dan tidak mudah untuk rontok atau dikupas.

Lapisan masih dapat mempertahankan stabilitas struktural yang baik pada suhu tinggi.

●  Resistensi korosi yang sangat baik:

Bahan TAC sendiri memiliki stabilitas kimia yang sangat baik dan ketahanan korosi.

Lapisan Vetek Semiconductor berkinerja baik di berbagai lingkungan gas yang agresif.

Dapat secara efektif melindungi komponen internal peralatan dari kerusakan korosi.

● Finishing permukaan tinggi:

Vetek Semiconductor menggunakan proses pelapisan yang tepat untuk menghasilkan hasil akhir yang diinginkan.

Kekasaran permukaan yang rendah membantu mengurangi akumulasi dan pengendapan partikel.

● Konsistensi pelapisan bagus:

Vetek Semiconductor memiliki sistem kontrol kualitas suara untuk memastikan kinerja yang konsisten antara batch.

Ketebalan lapisan didistribusikan secara merata dan tidak ada cacat lokal yang jelas.

● Kinerja aplikasi praktis yang sangat baik:

Lapisan TAC Vetek Semiconductor banyak digunakan di banyak produsen peralatan epitaxial terkenal di rumah dan di luar negeri.

Parameter fisik produk pelat rotasi yang dilapisi TAC:

Lapisan tantalum carbide pada penampang mikroskopis