Komponen reaktor planet Aixtron G10 Solid SiC

1. Fitur & Keunggulan Utama

• Struktur SiC Padat yang sepenuhnya padat dan bebas pengikat untuk ketahanan aus dan korosi yang unggul

• Konduktivitas termal yang sangat baik dan ketahanan guncangan termal pada suhu di atas 1500 °C

• Pembentukan partikel sangat rendah dan kemurnian tinggi, meminimalkan risiko kontaminasi

• Kelambanan kimia yang luar biasa terhadap gas proses yang digunakan dalam epitaksi SiC

• Masa pakai yang lama pada siklus suhu tinggi yang berulang-ulang

• Mesin yang presisi hingga toleransi dimensi yang ketat untuk kesesuaian yang andal dan stabilitas proses

 2. Aplikasi Khas

Aksesori Solid SiC ini digunakan di area fungsional utama reaktor Aixtron G10, termasuk:

• Pelat penutup dan elemen penutup terpilih

• Cincin pelindung dan komponen dengan tingkat keausan tinggi

• Pin presisi, ring, dan bagian struktural kecil

• Sisipan kemurnian tinggi khusus lainnya yang terkena aliran gas atau beban termal yang kuat

Mereka mendukung distribusi suhu yang stabil, pengiriman gas yang seragam, dan kepadatan cacat yang rendah selama pertumbuhan epitaksi SiC volume tinggi untuk MOSFET daya, dioda, dan perangkat celah pita lebar terkait.

3. Mengapa Memilih VeTek Solid SiC untuk Aixtron G10?

Sebagai produsen khusus material kelas semikonduktor, VeTek Semiconductor menyediakan:

• Komponen SiC Padat dengan kemurnian tinggi yang disesuaikan untuk sistem Aixtron G10, misalnya: Cincin penutup, Penutup dalam/luar, pelat penarik/penopang, Cakram satelit, susceptor

• Kontrol kemurnian yang ketat dan pemesinan CNC yang presisi

• Solusi pelengkap termasuk grafit berlapis SiC CVD dan komponen berlapis TaC untuk cakupan bidang termal yang lengkap

• Desain khusus disesuaikan dengan kondisi proses dan konfigurasi reaktor tertentu

Aksesori Solid SiC kami membantu pelanggan memaksimalkan keunggulan produktivitas platform Aixtron G10—output wafer yang tinggi, keseragaman ketebalan dan doping yang sangat baik, serta biaya kepemilikan yang kompetitif—sekaligus memperpanjang masa pakai komponen dan mengurangi kehilangan hasil terkait partikel.