Cincin pelapis CVD SiC

Ada banyak bagian kecil di bagian setengah bulan, dan cincin pelapis sic adalah salah satunya. Dengan menerapkan lapisanCVD SIC COATINGpada permukaan cincin grafit kemurnian tinggi dengan metode CVD, kita dapat memperoleh cincin pelapis CVD SiC. Cincin pelapis SiC dengan lapisan SiC memiliki sifat yang sangat baik seperti ketahanan suhu tinggi, sifat mekanik yang sangat baik, stabilitas kimia, konduktivitas termal yang baik, insulasi listrik yang baik, dan ketahanan oksidasi yang sangat baik. Cincin pelapis SiC CVD dan pelapis SiCpengurusbekerja sama.

Cincin pelapis SiC dan bekerja samapengurus

Fungsi cincin pelapis CVD SiC:

  ●   Distribusi aliran: Desain geometris cincin pelapis SiC membantu membentuk bidang aliran gas yang seragam, sehingga gas reaksi dapat secara merata menutupi permukaan substrat, memastikan pertumbuhan epitaxial yang seragam.

  ●  Pertukaran panas dan keseragaman suhu: Cincin pelapis CVD SiC memberikan kinerja pertukaran panas yang baik, sehingga menjaga suhu seragam cincin dan substrat pelapis CVD SiC. Hal ini dapat menghindari cacat kristal yang disebabkan oleh fluktuasi suhu.

  ●  Pemblokiran antarmuka: Cincin pelapis SIC CVD dapat membatasi difusi reaktan sampai batas tertentu, sehingga mereka bereaksi di area tertentu, sehingga mempromosikan pertumbuhan kristal SIC berkualitas tinggi.

  ●  Fungsi dukungan: Cincin pelapis CVD SIC dikombinasikan dengan disk di bawah ini untuk membentuk struktur yang stabil untuk mencegah deformasi dalam lingkungan suhu tinggi dan reaksi, dan mempertahankan stabilitas keseluruhan ruang reaksi.

Vetek Semiconductor selalu berkomitmen untuk memberikan pelanggan cincin pelapis CVD SIC berkualitas tinggi dan membantu pelanggan menyelesaikan solusi dengan harga paling kompetitif. Tidak peduli apa jenis cincin pelapis cvd sic yang Anda butuhkan, jangan ragu untuk berkonsultasi dengan semikonduktor Vetek!

Data SEM Struktur Kristal Film CVD SIC:

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC：