Fokus cincin untuk etsa

Cincin etsa silikon monokristalin adalah komponen penting dalam proses etsa semikonduktor dengan menjaga stabilitas lingkungan plasma, melindungi peralatan dan wafer, mengoptimalkan pemanfaatan sumber daya dan beradaptasi dengan persyaratan proses yang canggih. Kinerja secara langsung mempengaruhi hasil dan biaya manufaktur chip.

Cincin fokus terukir, elektroda dan ETC (pengontrol suhu tepi) adalah bahan habis pakai inti untuk memastikan keseragaman plasma, kontrol suhu, dan pengulangan proses. Komponen -komponen ini secara tepat dirakit di ruang vakum CVD, etsa dan peralatan film dan secara langsung menentukan keakuratan dan hasil etsa dari tepi ke pusat wafer.

Menanggapi permintaan yang ketat untuk sifat material dalam proses manufaktur kelas atas, Veteksemi berinovasi dengan menggunakan silikon monokristalin dengan kemurnian tinggi dengan resistivitas 10-20Ω · cm untuk memproduksi cincin pemfokusan dan mendukung barang habis pakai. Melalui optimalisasi kolaboratif ilmu material, desain listrik dan termodinamika, Veteksemi mampu memproduksi cincin pemfokusan dan mendukung barang habis pakai. Secara komprehensif melampaui solusi kuarsa tradisional untuk mencapai peningkatan terobosan dalam umur panjang, akurasi, dan efektivitas biaya.

Perbandingan materi inti dan optimasi resistivitas

Silikon Monokristalin Vs. Kuarsa

Advantag inti produke

1. Akurasi proses tingkat atom

Optimalisasi resistivitas + ultra-presisi pemolesan (RA <0,1μm) menghilangkan kontaminasi mikro-discharge dan partikel untuk memenuhi standar semi F47.

Kehilangan dielektrik (tanΔ <0,001) sangat cocok dengan lingkungan dielektrik wafer, menghindari distorsi medan listrik tepi dan mendukung 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° etsa lubang dalam vertikal.

2. Kompatibilitas Sistem Cerdas

Terintegrasi dengan modul kontrol suhu tepi ETC, aliran udara pendingin secara dinamis disesuaikan dengan algoritma termokopel dan AI untuk mengkompensasi penyimpangan termal ruang.

Dukungan Jaringan Pencocokan RF yang disesuaikan, cocok untuk mesin utama seperti Amat Centura, Lam Research Kiyo dan Sumber Plasma ICP/CCP.

3. Efektivitas biaya yang komprehensif

Kehidupan silikon monokristalin adalah 275% lebih lama dari kuarsa, siklus pemeliharaan lebih dari 3.000 jam, dan biaya kepemilikan komprehensif (TCO) berkurang sebesar 30%.

Layanan Kustomisasi Gradien Resistivitas (5-100Ω · cm), tepat cocok dengan jendela proses pelanggan (seperti etsa material celah pita lebar Gan/SiC).

Efek resistivitas

Istilah komersial produk

Jumlah pesanan minimum	1 set
Harga	Kontak untuk kutipan yang disesuaikan
Detail Pengemasan	Paket Ekspor Standar
Waktu pengiriman	Waktu Pengiriman: 30-35 hari setelah konfirmasi pesanan
Ketentuan Pembayaran	T/t
Kemampuan pasokan	600 set/bulan