MOCVD Epitaxial Wafer menyediakan

MOCVD Epitaxial Wafer Ronsceptor adalah kerentanan wafer epitaxial berkinerja tinggi yang dirancang untuk peralatan MOCVD (Deposisi Uap Kimia Logam-Organik). Kerentanan terbuat dari bahan grafit SGL dan dilapisi dengan lapisan silikon karbida, yang menggabungkan konduktivitas termal tinggi grafit dengan suhu tinggi yang sangat baik dan ketahanan korosi SIC, dan cocok untuk lingkungan kerja yang keras dengan suhu tinggi, tekanan tinggi dan gas korosif selama pertumbuhan epikonduktor epikonduktor.

Bahan grafit SGL memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, yang memastikan bahwa suhu wafer epitaxial didistribusikan secara merata selama proses pertumbuhan dan meningkatkan kualitas lapisan epitaxial. Lapisan SIC yang dilapisi memungkinkan kerentanan untuk menahan suhu tinggi lebih dari 1600 ℃ dan beradaptasi dengan lingkungan termal ekstrem dalam proses MOCVD. Selain itu, lapisan SIC dapat secara efektif menahan gas reaksi suhu tinggi dan korosi kimia, memperpanjang masa pakai kerentanan, dan mengurangi polusi.

Kerentanan wafer epitaxial Veteksemi dapat digunakan sebagai pengganti aksesoris pemasok peralatan MOCVD seperti Aixtron.

● Ukuran: Dapat disesuaikan sesuai dengan kebutuhan pelanggan (ukuran standar tersedia).

● PENGARUH KAPAL: Dapat membawa beberapa atau bahkan lebih dari 50 wafer epitaxial sekaligus (tergantung pada ukuran kerentanan).

● Perawatan permukaan: SIC Coating, resistensi korosi, resistensi oksidasi.

● Industri semikonduktor: Digunakan untuk pertumbuhan wafer epitaxial seperti LED, dioda laser, dan semikonduktor daya.

● Industri Optoelektronika: Mendukung pertumbuhan epitaxial perangkat optoelektronik berkualitas tinggi.

● Penelitian dan pengembangan material kelas atas: Diterapkan pada persiapan epitaxial semikonduktor baru dan bahan optoelektronik.

Bergantung pada jenis peralatan MOCVD pelanggan dan kebutuhan produksi, Vetek Semiconductor menyediakan layanan khusus, termasuk ukuran kerentanan, material, perawatan permukaan, dll., Untuk memastikan bahwa solusi yang paling cocok diberikan kepada pelanggan.

Struktur kristal film cvd sic

Sifat fisik dasar pelapisan cvd sic

Itu semikonduktor Toko -toko kerentanan wafer epitaxial MOCVD