Suseptor grafit berlapis SiC untuk ASM

Informasi produk umum

Istilah bisnis produk

✔ Aplikasi: Substrat grafit berlapis SiC Veteksemicon adalah bahan habis pakai utama untuk peralatan epitaksi seri ASM. Ini secara langsung mendukung wafer dan menyediakan medan termal yang seragam dan stabil selama epitaksi suhu tinggi, menjadikannya komponen inti untuk memastikan pertumbuhan material semikonduktor canggih berkualitas tinggi seperti GaN dan SiC.

✔ Layanan yang dapat diberikan: analisis skenario aplikasi pelanggan, pencocokan materi, pemecahan masalah teknis. 

✔ Profil perusahaan：Veteksemicon memiliki 2 laboratorium, tim ahli dengan pengalaman material selama 20 tahun, dengan kemampuan R&D dan produksi, pengujian dan verifikasi.

Parameter Teknis

Suseptor grafit berlapis Veteksemicon SiC untuk keunggulan inti ASM

1. Kemurnian ekstrim dan tingkat cacat rendah

Menggunakan substrat grafit khusus dengan kemurnian tinggi dan tingkat partikel halus, dikombinasikan dengan proses pelapisan deposisi uap kimia (CVD) yang dikontrol secara ketat, kami memastikan bahwa lapisan tersebut padat, bebas dari lubang kecil, dan bebas dari kotoran. Hal ini secara signifikan mengurangi risiko kontaminasi partikulat selama proses epitaksi, menyediakan lingkungan substrat yang bersih untuk pertumbuhan lapisan epitaksi berkualitas tinggi.

2. Ketahanan korosi dan ketahanan aus yang sangat baik

Lapisan silikon karbida pirolitik memiliki kekerasan dan kelembaman kimia yang sangat tinggi, yang secara efektif menahan erosi sumber silikon (seperti SiH4, SiHCl3), sumber karbon (seperti C3H8), dan gas etsa (seperti HCl, H2) pada suhu tinggi. Hal ini secara signifikan memperpanjang siklus pemeliharaan pangkalan dan mengurangi waktu henti alat berat yang disebabkan oleh penggantian komponen.

3. Keseragaman dan stabilitas termal yang sangat baik

Kami mengoptimalkan distribusi medan termal dalam kisaran suhu pengoperasian melalui desain struktur substrat yang tepat dan kontrol ketebalan lapisan. Hal ini secara langsung berarti keseragaman ketebalan dan resistivitas yang sangat baik dalam wafer epitaksial, sehingga berkontribusi terhadap peningkatan hasil produksi chip.

4. Kekuatan adhesi lapisan yang sangat baik

Pretreatment permukaan yang unik dan teknologi pelapisan gradien memungkinkan lapisan silikon karbida membentuk lapisan ikatan yang kuat dengan substrat grafit, secara efektif mencegah masalah pengelupasan, pengelupasan, atau retak lapisan yang mungkin terjadi selama siklus termal jangka panjang.

5. Ukuran yang tepat dan replikasi struktural

Kami memiliki kemampuan pemesinan dan pengujian CNC yang matang, memungkinkan kami mereplikasi sepenuhnya geometri kompleks, dimensi rongga, dan antarmuka pemasangan dari basis asli, memastikan kesesuaian sempurna dan fungsionalitas plug-and-play dengan platform pelanggan.

6. Dukungan verifikasi rantai ekologi

Suseptor grafit berlapis Veteksemicon SiC untuk verifikasi rantai ekologi ASM mencakup bahan mentah hingga produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di bidang semikonduktor dan energi baru.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakan hubungi Tim Dukungan Teknis kami untuk mempelajari bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.

Bidang aplikasi utama

Toko produk Saingan saya