SIC Coating Halfmoon Graphite Parts

Di ruang reaksi dari tungku pertumbuhan epitaxial SIC, bagian -bagian grafit setengah moon SIC adalah komponen kunci untuk mengoptimalkan distribusi aliran gas, kontrol medan termal, dan keseragaman atmosfer reaksi. Mereka biasanya terbuat dari lapisan sicgrafit,dirancang dalam bentuk setengah bulan, terletak di bagian grafit atas dan bawah ruang reaksi, mengelilingi area substrat.

    •Bagian grafit setengah bulan atas: dipasang di bagian atas ruang reaksi, dekat saluran masuk gas, bertanggung jawab untuk mengarahkan gas reaksi mengalir menuju permukaan substrat.

    •Bagian grafit setengah bulan bawah: Terletak di bagian bawah ruang reaksi, biasanya di bawah dudukan substrat, digunakan untuk mengontrol arah aliran gas dan mengoptimalkan bidang termal dan distribusi gas di bagian bawah substrat.

SelamaProses Epitaxy SiC, bagian grafit setengah bulan bagian atas membantu memandu aliran gas untuk didistribusikan secara merata pada substrat, mencegah gas yang berdampak langsung pada permukaan substrat dan menyebabkan turbulensi overheating atau aliran udara lokal. Bagian grafit setengah bulan bawah memungkinkan gas mengalir dengan lancar melalui substrat dan kemudian dikeluarkan, sambil mencegah turbulensi mempengaruhi keseragaman pertumbuhan lapisan epitaxial.

Dalam hal regulasi medan termal, bagian SIC, bagian grafit halfit membantu untuk mendistribusikan panas secara merata di ruang reaksi melalui bentuk dan posisi. Bagian grafit Halfmoon Atas dapat secara efektif mencerminkan panas radiasi pemanas untuk memastikan suhu di atas substrat stabil. Bagian grafit setengah bulan yang lebih rendah juga memiliki peran yang sama, membantu mendistribusikan panas secara merata di bawah substrat melalui konduksi panas untuk mencegah perbedaan suhu yang berlebihan.

Lapisan SIC membuat komponen tahan terhadap suhu tinggi dan konduktif termal, sehingga bagian setengah moon semikonduktor Vetek memiliki masa pakai yang panjang. Dirancang dengan cermat, bagian grafit setengah bulan kami untuk epitaks SIC dapat diintegrasikan dengan mulus ke dalam banyak reaktor epitaxial, membantu meningkatkan efisiensi dan keandalan keseluruhan proses manufaktur semikonduktor. Apa pun yang dibutuhkan bagian -bagian grafit setengah moon SIC Anda, silakan hubungi Vetek Semiconductor.

WatersemiSIC Coating Halfmoon Graphite Parts Shops: