Cincin Fokus Silikon Karbida

Informasi produk umum

Istilah bisnis produk

Aplikasi: Dalam proses etsa kering semikonduktor, cincin fokus merupakan komponen kunci yang memastikan keseragaman proses. Lapisan ini mengelilingi wafer dengan rapat dan, dengan mengontrol distribusi plasma pada tepi wafer secara tepat, secara langsung menentukan keseragaman dan konsistensi proses etsa, menjadikannya bagian yang sangat diperlukan untuk menjamin hasil chip.

Layanan yang dapat diberikan: analisis skenario aplikasi pelanggan, pencocokan materi, pemecahan masalah teknis.

Profil perusahaan：Veteksemicon memiliki 2 laboratorium, tim ahli dengan pengalaman material selama 20 tahun, dengan kemampuan R&D dan produksi, pengujian dan verifikasi.

Parameter Teknis

Keunggulan inti cincin fokus Saingan saya

1. Ilmu material yang luar biasa, lahir untuk lingkungan yang keras

Bahan silikon karbida dengan kemurnian tinggi dan kepadatan tinggi pilihan kami dapat dengan mudah menahan pemboman plasma yang intens dan korosi gas kimia yang mengandung fluor selama proses etsa SiC. Ketahanannya terhadap korosi yang sangat baik secara langsung menghasilkan masa pakai yang lebih lama dan frekuensi penggantian komponen yang lebih rendah, tidak hanya mengurangi waktu henti peralatan tetapi juga secara signifikan mengurangi risiko kontaminasi partikel yang disebabkan oleh keausan komponen, sehingga memberi Anda efektivitas biaya komprehensif yang stabil dan berjangka panjang.

2. Desain teknik yang tepat memastikan proses yang konsisten

Setiap cincin fokus Veteksemicon menjalani pemesinan CNC ultra-presisi untuk memastikan bahwa dimensi utama seperti kerataan, diameter dalam, dan tinggi langkah mencapai akurasi tingkat mikron, memastikan kesesuaian sempurna dengan pabrikan peralatan asli (OEM). Tim teknik kami selanjutnya mengoptimalkan profil menggunakan simulasi plasma. Desain ini secara efektif memandu medan listrik, mengurangi pengetsaan abnormal pada tepi wafer dan dengan demikian mengontrol keseragaman pengetsaan seluruh wafer ke tingkat ekstrem.

3. Kinerja yang andal meningkatkan efisiensi produksi

Dalam lingkungan produksi massal yang menuntut, nilai penuh dari produk kami terwujud. Dengan memastikan distribusi plasma yang terkonsentrasi dan stabil, cincin fokus Veteksemicon secara langsung berkontribusi terhadap peningkatan keseragaman laju pengetsaan dan optimalisasi pengulangan proses batch-ke-batch. Ini berarti lini produksi Anda dapat secara konsisten menghasilkan produk dengan hasil tinggi, sekaligus mendapatkan manfaat dari siklus pemeliharaan yang lebih lama, sehingga secara efektif mengurangi biaya konsumsi per wafer dan memberi Anda keunggulan kompetitif yang signifikan.

4. Dukungan verifikasi rantai ekologi

Verifikasi rantai ekologi Veteksemicon focus ring mencakup bahan mentah hingga produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di bidang semikonduktor dan energi baru.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakan hubungi Tim Dukungan Teknis kami untuk mempelajari bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.

Toko produk Saingan saya