Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Produk

Solidon silicon carbide

Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide adalah komponen keramik penting dalam peralatan etsa plasma, silikon karbida padat (CVD Silicon Carbide) Bagian dalam peralatan etsa termasukfokus cincin, pancuran gas, baki, cincin tepi, dll. Karena reaktivitas rendah dan konduktivitas silikon karbida padat (CVD silikon karbida) terhadap klorin - dan gas etsa yang mengandung fluorin, ini adalah bahan yang ideal untuk peralatan etsa plasma yang memfokuskan cincin dan komponen lainnya.


Misalnya, cincin fokus adalah bagian penting yang ditempatkan di luar wafer dan dalam kontak langsung dengan wafer, dengan menerapkan tegangan ke cincin untuk memfokuskan plasma yang melewati ring, sehingga memfokuskan plasma pada wafer untuk meningkatkan keseragaman pemrosesan. Cincin fokus tradisional terbuat dari silikon ataukuarsa, silikon konduktif sebagai bahan cincin fokus yang umum, hampir dekat dengan konduktivitas wafer silikon, tetapi kekurangannya adalah resistensi etsa yang buruk dalam plasma fluorin, bahan-bagian mesin etsa yang sering digunakan untuk periode waktu tertentu, akan ada fenomena korosi yang serius, secara serius mengurangi efisiensi produksinya.


Scincin fokus olid sicPrinsip kerja：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Perbandingan cincin pemfokusan berbasis Si dan cincin pemfokusan cvd sic:

Perbandingan cincin pemfokusan berbasis Si dan cincin fokus CVD sic
Barang Dan CVD sic
Kepadatan (g/cm3) 2.33 3.21
Band Gap (EV) 1.12 2.3
Konduktivitas termal (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Modulus elastis (IPK) 150 440
Kekerasan (IPK) 11.4 24.5
Resistensi terhadap keausan dan korosi Miskin Bagus sekali


Vetek Semiconductor menawarkan bagian -bagian silicon carbide solid canggih (CVD silicon carbide) seperti cincin fokus SiC untuk peralatan semikonduktor. Cincin pemfokusan silikon karbida padat kami mengungguli silikon tradisional dalam hal kekuatan mekanik, ketahanan kimia, konduktivitas termal, daya tahan suhu tinggi, dan resistensi etsa ion.


Fitur utama dari cincin pemfokusan SIC kami termasuk:

Kepadatan tinggi untuk berkurangnya tingkat etsa.

Isolasi yang sangat baik dengan celah pita tinggi.

Konduktivitas termal yang tinggi dan koefisien ekspansi termal yang rendah.

Resistensi dan elastisitas dampak mekanik yang unggul.

Kekerasan tinggi, ketahanan aus, dan resistensi korosi.

Diproduksi menggunakanDeposisi uap kimia yang ditingkatkan plasma (PECVD)Teknik, cincin fokus SIC kami memenuhi meningkatnya tuntutan proses etsa dalam manufaktur semikonduktor. Mereka dirancang untuk menahan kekuatan dan energi plasma yang lebih tinggi, khususnyaKapasitif berpasangan plasma (CCP)sistem.

Cincin fokus SIC Vetek Semiconductor memberikan kinerja dan keandalan yang luar biasa dalam pembuatan perangkat semikonduktor. Pilih komponen SIC kami untuk kualitas dan efisiensi yang unggul.


View as  
 
Kepala kamar mandi cvd sic

Kepala kamar mandi cvd sic

Vetek Semiconductor adalah produsen kepala shower dan inovator CVD SIC terkemuka di Cina. Kami telah berspesialisasi dalam bahan SIC selama bertahun -tahun. Kepala shower SIC CVD dipilih sebagai bahan cincin fokus karena stabilitas termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanik yang tinggi dan ketahanan terhadap erosi plasma. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Kepala kamar mandi sic

Kepala kamar mandi sic

Vetek Semiconductor adalah produsen dan inovator kepala shower SIC terkemuka di Cina. Kami telah berspesialisasi dalam bahan SiC selama bertahun-tahun. Kepala shower penting dipilih sebagai bahan cincin fokus karena stabilitas termokimia yang sangat baik, kekuatan mekanik yang tinggi dan ketahanan terhadap erosi plasma. Kami berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Susceptor Barel Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S

Susceptor Barel Dilapisi SiC untuk LPE PE2061S

Sebagai salah satu pabrik wafer kerentanan terkemuka di Tiongkok, Vetek Semiconductor telah membuat kemajuan berkelanjutan dalam produk kerentanan wafer dan telah menjadi pilihan pertama bagi banyak produsen wafer epitaxial. Kerentanan barel yang dilapisi SIC untuk LPE PE2061 yang disediakan oleh Vetek Semiconductor dirancang untuk wafer LPE PE2061S 4 ''. Kerentanan memiliki lapisan silikon karbida yang tahan lama yang meningkatkan kinerja dan daya tahan selama proses LPE (cair fase epitaks). Selamat datang pertanyaan Anda, kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Kepala pancuran gas sic solid

Kepala pancuran gas sic solid

Kepala shower gas SIC yang solid memainkan peran utama dalam membuat seragam gas dalam proses CVD, sehingga memastikan pemanasan substrat yang seragam. Vetek Semiconductor telah sangat terlibat dalam bidang perangkat SIC yang solid selama bertahun -tahun dan mampu memberi pelanggan kepala shower gas SIC yang disesuaikan. Tidak peduli apa kebutuhan Anda, kami menantikan pertanyaan Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Proses Deposisi Uap Kimia Cincin tepi sic padat

Proses Deposisi Uap Kimia Cincin tepi sic padat

Vetek Semiconductor selalu berkomitmen untuk penelitian dan pengembangan dan pembuatan bahan semikonduktor canggih. Saat ini, Vetek Semiconductor telah membuat kemajuan besar dalam proses deposisi uap kimia produk cincin tepi sic solid dan mampu memberi pelanggan cincin tepi sic padat yang sangat disesuaikan. Cincin tepi sic padat memberikan keseragaman etsa yang lebih baik dan penentuan posisi wafer yang tepat ketika digunakan dengan chuck elektrostatik, memastikan hasil etsa yang konsisten dan andal. Menantikan pertanyaan Anda dan menjadi mitra jangka panjang masing-masing.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Cincin Fokus Etsa SiC Padat

Cincin Fokus Etsa SiC Padat

Cincin pemfokusan etsa sic yang solid adalah salah satu komponen inti dari proses etsa wafer, yang berperan dalam memperbaiki wafer, memfokuskan plasma dan meningkatkan keseragaman etsa wafer. Sebagai produsen cincin fokus SIC terkemuka di Cina, Vetek Semiconductor memiliki teknologi canggih dan proses matang, dan memproduksi cincin pemfokusan etsa SIC yang solid yang sepenuhnya memenuhi kebutuhan pelanggan akhir sesuai dengan kebutuhan pelanggan. Kami menantikan pertanyaan Anda dan menjadi mitra jangka panjang satu sama lain.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Sebagai produsen dan pemasok profesional Solidon silicon carbide di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Solidon silicon carbide lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
Rekomendasi Berita
Berdasarkan Teknologi Tungku Pertumbuhan Single Single Crystal Crystal Single 8-inci
Berdasarkan Teknologi Tungku Pertumbuhan Single Single Crystal Crystal Single 8-inciLihat Lebih Banyak >>
Apa itu pertumbuhan epitaxial yang dikendalikan langkah？
Apa itu pertumbuhan epitaxial yang dikendalikan langkah？Lihat Lebih Banyak >>
Menggulung! Dua produsen besar akan memproduksi silikon karbida 8 inci secara massal
Menggulung! Dua produsen besar akan memproduksi silikon karbida 8 inci secara massalLihat Lebih Banyak >>
Bagaimana cara memilih nampan grafit mocvd?
Bagaimana cara memilih nampan grafit mocvd?Lihat Lebih Banyak >>
Tantangan tungku pertumbuhan kristal silikon karbida
Tantangan tungku pertumbuhan kristal silikon karbidaLihat Lebih Banyak >>
Perangkat Kuarsa dalam Pembuatan Sel Surya
Perangkat Kuarsa dalam Pembuatan Sel SuryaLihat Lebih Banyak >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept