Cincin Dilapisi TAC untuk PVT Pertumbuhan SIC Single Crystal

Saat ini, perangkat daya SIC menjadi semakin populer, sehingga fabrikasi perangkat semikonduktor terkait lebih penting, dan sifat -sifat SIC harus ditingkatkan. SIC adalah substrat dalam semikonduktor. Sebagai bahan baku yang sangat diperlukan untuk perangkat SIC, bagaimana cara menghasilkan kristal SIC secara efisien adalah salah satu topik penting. Dalam proses pertumbuhan kristal sic dengan metode PVT (transportasi uap fisik), cincin berlapis TAC semikonduktor Vetek untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC memainkan peran yang sangat diperlukan dan penting. Setelah desain dan manufaktur yang cermat, cincin yang dilapisi TAC ini memberi Anda kinerja dan keandalan yang sangat baik, memastikan efisiensi dan stabilitasPertumbuhan kristal sicproses.

Lapisan Tantalum Carbide (TAC) telah mendapatkan perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880 ° C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan resistensi terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk menambah proses epikonduktor epikonduktor dengan persyaratan suhu yang lebih tinggi. Ini memiliki proses aplikasi yang luas dalam metode pertumbuhan kristal.

Cincin Dilapisi TACFitur Produk

(I) Ikatan material pelapis TAC berkualitas tinggi dengan bahan grafit

Cincin Dilapisi TAC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SiC menggunakan bahan grafit SGL berkualitas tinggi sebagai substrat, ia memiliki konduktivitas termal yang baik dan stabilitas material yang sangat tinggi. Pelapisan CVD TAC menyediakan permukaan yang tidak berpori. Pada waktu yang sama, TAC CVD dengan kemurnian tinggi (Tantalum carbide) digunakan sebagai bahan pelapis, yang memiliki kekerasan yang sangat tinggi, titik leleh dan stabilitas kimia. Lapisan TAC dapat mempertahankan kinerja yang sangat baik dalam suhu tinggi (biasanya hingga 2000 ℃ atau lebih) dan lingkungan yang sangat korosif dari pertumbuhan kristal SiC dengan metode PVT, secara efektif menahan reaksi kimia dan erosi fisik selamaPertumbuhan sic, sangat memperpanjang masa pakai cincin pelapis, dan mengurangi biaya pemeliharaan peralatan dan waktu henti.

10 μm 300 μm

TAC Coatingdengan kristalinitas tinggi dan keseragaman yang sangat baik

(Ii) Proses pelapisan yang tepat

Teknologi proses pelapisan CVD canggih Vetek Semiconductor memastikan bahwa lapisan TAC secara merata dan padat tertutup permukaan cincin. Ketebalan lapisan dapat dikontrol secara tepat pada ± 5UM, memastikan distribusi seragam bidang suhu dan medan udara selama proses pertumbuhan kristal, yang kondusif untuk pertumbuhan kristal SiC berkualitas tinggi dan ukuran besar.

Ketebalan lapisan umum adalah 35 ± 5um, juga kami dapat menyesuaikannya sesuai dengan kebutuhan Anda.

(Iii) Stabilitas suhu tinggi yang sangat baik dan ketahanan guncangan termal

Dalam lingkungan suhu tinggi dari metode PVT, cincin berlapis TAC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC menunjukkan stabilitas termal yang sangat baik.

Resistensi terhadap H2, NH3, SIH4, SI

Kemurnian sangat tinggi untuk mencegah kontaminasi proses

Resistansi tinggi terhadap guncangan termal untuk siklus operasi yang lebih cepat

Ini dapat menahan kue suhu tinggi jangka panjang tanpa deformasi, retak atau pelapisan pelapisan. Selama pertumbuhan kristal SIC, suhu sering berubah. Cincin berlapis TAC semikonduktor Vetek untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SIC memiliki ketahanan guncangan termal yang sangat baik dan dapat dengan cepat beradaptasi dengan perubahan suhu yang cepat tanpa retak atau kerusakan. Lebih lanjut meningkatkan efisiensi produksi dan kualitas produk.

Vetek Semiconductor sangat sadar bahwa pelanggan yang berbeda memiliki peralatan dan proses pertumbuhan kristal PVT SIC yang berbeda, sehingga menyediakan layanan khusus untuk cincin yang dilapisi TAC untuk pertumbuhan PVT kristal tunggal SiC. Apakah itu spesifikasi ukuran bodi cincin, ketebalan lapisan atau persyaratan kinerja khusus, kami dapat menyesuaikannya sesuai dengan kebutuhan Anda untuk memastikan bahwa produk tersebut sangat cocok dengan peralatan dan proses Anda, memberikan Anda solusi yang paling dioptimalkan.

Sifat fisik pelapis TAC

Itu semikonduktorCincin Dilapisi TAC toko produksi