Cincin pelapis TAC

Cincin Pelapis TaC semikonduktor VeTek dibuat dari grafit berkualitas tinggi dan dilapisi dengan tantalum karbida (TaC), bahan yang terkenal dengan sifat unggulnya, merupakan komponen yang sangat diperlukan dalam pemrosesan wafer semikonduktor.

Fitur utama dan manfaat cincin pelapis TAC semikonduktor Vetek:

●  Stabilitas Termal Tinggi: Salah satu fitur menonjol dari cincin pelapis Tantalum Carbide adalah kemampuannya untuk menahan suhu tinggi, faktor penting dalam etsa semikonduktor. Proses etsa SiC melibatkan paparan suhu tinggi dan gas reaktif, dan lapisan tantalum karbida memastikan cincin tetap stabil dan mempertahankan integritas strukturalnya bahkan di bawah kondisi yang keras ini. Ketahanan termal ini memastikan bahwa komponen terus berkinerja secara optimal selama periode yang diperpanjang.

● Kekuatan mekanik yang ditingkatkan: Kombinasi grafit berkekuatan tinggi dan lapisan TaC menghasilkan komponen dengan sifat mekanik yang ditingkatkan, menjadikan Cincin Dilapisi TaC sangat tahan terhadap keausan. Kekuatan mekanisnya sangat penting dalam menahan wafer SiC dengan kuat di tempatnya, memastikan pengetsaan yang akurat dan mencegah deformasi apa pun selama proses berlangsung.

●  Ketahanan Korosi Kimia: Dalam proses semikonduktor seperti etsa SIC, komponen sering terpapar bahan kimia agresif dan gas reaktif. Lapisan Tantalum Carbide memberikan perlindungan yang sangat baik terhadap korosi, secara signifikan memperpanjang masa manfaat cincin dan meminimalkan kebutuhan untuk penggantian yang sering. Resistensi ini sangat penting dalam proses etsa, di mana komponen bersentuhan konstan dengan zat reaktif secara kimia.

● Coatitac Coatingsng Superior untuk peningkatan kinerja: Lapisan Tantalum Carbide pada cincin grafit memberikan permukaan yang kuat yang meningkatkan kinerja keseluruhan komponen. Tantalum carbide terkenal dengan titik lelehnya yang tinggi (sekitar 3.880 ° C) dan resistensi yang sangat baik terhadap reaksi kimianya, terutama di lingkungan agresif yang biasanya ditemui selama proses pembuatan semikonduktor. Lapisan tantalum carbide ini secara signifikan meningkatkan umur produk, memberikan daya tahan yang unggul dibandingkan dengan cincin grafit yang tidak dilapisi.

● Kekuatan mekanik yang ditingkatkan: Kombinasi grafit berkekuatan tinggi dan lapisan TaC menghasilkan komponen dengan sifat mekanik yang ditingkatkan, menjadikan Cincin Dilapisi TaC sangat tahan terhadap keausan. Kekuatan mekanisnya sangat penting dalam menahan wafer SiC dengan kuat di tempatnya, memastikan pengetsaan yang akurat dan mencegah deformasi apa pun selama proses berlangsung.

Sebagai pemasok cincin pelapis TAC terkemuka, produsen dan pabrik di Cina, Vetek Semiconductor telah lama berkomitmen untuk menyediakan produk cincin pelapis TAC canggih dan solusi teknis untuk industri pemrosesan semikonduktor, dan mendukung layanan produk yang disesuaikan. Veteksemi dengan tulus berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Sifat fisik pelapis TAC

Toko produk TaC Coating Ring semikonduktor VeTek