TAC Coating Subser

Kerentanan berlapis TAC semikonduktor Vetek danTAC dilapisicincinBekerja bersama dalam reaktor pertumbuhan epitaxial silikon karbida lpe:

● Resistensi suhu tinggi: TheTAC CoatingKerentanan memiliki resistensi suhu tinggi yang sangat baik, mampu menahan suhu ekstrem hingga 1500 ° C diReaktor LPE. Ini memastikan peralatan dan komponen tidak berubah bentuk atau rusak selama operasi jangka panjang.

● Stabilitas kimia: Kerentanan pelapis TAC berkinerja sangat baik dalam lingkungan pertumbuhan silikon karbida korosif, secara efektif melindungi komponen reaktor dari serangan kimia korosif, sehingga memperluas masa pakai mereka.

● Stabilitas termal: Kerentanan pelapisan TAC memiliki stabilitas termal yang baik, menjaga morfologi permukaan dan kekasaran untuk memastikan keseragaman bidang suhu dalam reaktor, yang bermanfaat untuk pertumbuhan berkualitas tinggi dari lapisan epitaxial silikon karbida.

● Anti-kontaminasi: Permukaan yang dilapisi TAC yang halus dan kinerja TPD TPD (desorpsi terprogram suhu) yang superior dapat meminimalkan akumulasi dan adsorpsi partikel dan pengotor di dalam reaktor, mencegah kontaminasi lapisan epitaxial.

Singkatnya, kerentanan dan cincin yang dilapisi TAC memainkan peran pelindung kritis dalam reaktor pertumbuhan epitaxial silikon karbida LPE, memastikan operasi stabil jangka panjang dari peralatan dan pertumbuhan berkualitas tinggi dari lapisan epitaxial.