Pendukung epi

Vetek Semiconductor adalah pemimpin profesional China EPI yang dilakukan, ALD Planetary Tugor dan produsen dukungan grafit yang dilapisi TAC. Dan Dukungan EPI kami adalah komponen pentingpertumbuhan epitaxialDalam proses pembuatan semikonduktor. Fungsi utamanya adalah untuk mendukung dan memanaskan wafer sehingga lapisan epitaxial berkualitas tinggi dapat ditanam secara seragam di permukaan wafer.

Rekan EPI semikonduktor Vetek biasanya terbuat dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilapisi dengan lapisan silikon karbida (sic).Desain ini memiliki keunggulan utama berikut:

● Stabilitas suhu tinggi: Kerentanan EPI dapat tetap stabil di lingkungan suhu tinggi, memastikan pertumbuhan seragam lapisan epitaxial.

● Resistensi korosi: Lapisan SIC memiliki ketahanan korosi yang sangat baik dan dapat menahan erosi gas kimia, memperpanjang masa pakai baki.

● Konduktivitas termal: Konduktivitas termal yang tinggi dari bahan SIC memastikan distribusi suhu yang seragam dari wafer selama pemanasan, sehingga meningkatkan kualitas lapisan epitaxial.

● Pencocokan koefisien ekspansi termal: Koefisien ekspansi termal SIC mirip dengan grafit, menghindari masalah pelepasan lapisan karena ekspansi dan kontraksi termal.

Sifat fisik dasar dariCVD SIC COATING:

Toko produksi cvd sic:

Tinjauan Rantai Industri Epitaxy Chip Semikonduktor: