Produk

Kepala shower kuarsa, juga dikenal sebagai pelat distribusi gas kuarsa, adalah komponen penting yang digunakan dalam proses deposisi film tipis semikonduktor seperti CVD (deposisi uap kimia), PECVD (CVD yang ditingkatkan plasma), dan ALD (deposisi lapisan atom). Terbuat dari kuarsa menyatu dengan kemurnian tinggi, komponen ini memastikan kontaminasi yang sangat rendah dan stabilitas termal yang sangat baik, memungkinkan pengiriman gas yang tepat dan pertumbuhan film yang seragam di permukaan wafer. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Cincin panduan grafit berlapis TAC kami adalah komponen inti presisi untuk manufaktur wafer semikonduktor. Mereka menampilkan substrat grafit dengan kemurnian tinggi yang dilapisi dengan lapisan tantalum carbide (TAC) yang tahan aus dan kimia. Dirancang untuk proses yang menuntut seperti deposisi epitaxial dan etsa plasma, mereka memastikan keselarasan dan stabilitas wafer yang tepat, secara efektif mengontrol kontaminasi, dan secara signifikan memperpanjang umur komponen. Veteksemicon menawarkan layanan penyesuaian agar sesuai dengan persyaratan peralatan dan proses Anda dengan sempurna.

Layar kuarsa semikonduktor Veteksemicon adalah komponen vital dalam sistem uap kimia logam-organik (MOCVD), memainkan peran penting dalam mengoptimalkan proses pertumbuhan film tipis. Halaman detail produk ini menyoroti layar kuarsa kemurnian tinggi Veteksemicon, yang dirancang untuk meningkatkan keseragaman, kemurnian, dan efisiensi pemeliharaan peralatan MOCVD.

Purity Quartz Crucible tinggi adalah komponen inti penting dalam proses manufaktur semikonduktor canggih, terutama untuk aplikasi yang membutuhkan stabilitas termal yang sangat tinggi, kemurnian kimia, dan akurasi dimensi. Veteksemicon menawarkan cawan lebur kuarsa kemurnian tinggi yang dirancang untuk memenuhi tuntutan ekstrem proses semikonduktor.

Chuck keramik SIC berpori oleh Veteksemicon adalah platform vakum rekayasa presisi yang dirancang untuk penanganan wafer yang aman dan bebas partikel dalam proses semikonduktor canggih seperti etsa, implantasi ion, CMP, dan inspeksi. Diproduksi dari silikon karbida berpori-kemurnian tinggi, ia menawarkan konduktivitas termal yang luar biasa, ketahanan kimia, dan kekuatan mekanik. Dengan ukuran dan dimensi pori yang dapat disesuaikan, Veteksemicon memberikan solusi yang disesuaikan untuk memenuhi tuntutan ketat dari lingkungan pemrosesan wafer bersih.

Kapal wafer kuarsa kami adalah solusi pembawa wafer dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk semikonduktor, LED, sel surya, dan proses pembuatan baterai. Direkayasa untuk menanggung suhu tinggi dan lingkungan yang agresif secara kimia, kapal kuarsa ini memiliki ekspansi termal yang rendah, isolasi listrik yang sangat baik, dan stabilitas dimensi jangka panjang. Ideal untuk proses difusi, oksidasi, dan LPCVD, ini mendukung penyelarasan wafer yang tepat dan tersedia dalam berbagai ukuran untuk memenuhi persyaratan peralatan yang berbeda.