Produk

Cincin fokus SiC padat Veteksemi secara signifikan meningkatkan keseragaman etsa dan stabilitas proses dengan mengontrol medan listrik dan aliran udara secara tepat di tepi wafer. Ini banyak digunakan dalam proses etsa presisi untuk silikon, dielektrik, dan bahan semikonduktor majemuk, dan merupakan komponen kunci untuk memastikan hasil produksi massal dan pengoperasian peralatan yang andal dalam jangka panjang.

Dalam langkah-langkah penting pembersihan wafer, etsa, dan etsa basah, rendaman kuarsa dengan kemurnian tinggi lebih dari sekadar wadah; ini adalah garis pertahanan pertama untuk kesuksesan proses. Kontaminasi ion logam, thermal shock cracking, serangan kimia, dan residu partikel merupakan penyebab tersembunyi dari fluktuasi hasil. Veteksemi berakar kuat pada kuarsa tingkat semikonduktor. Setiap wadah kuarsa yang kami produksi dirancang untuk memberikan keandalan dan kebersihan tanpa kompromi untuk proses mutakhir Anda.

Lengan robot Silicon Carbide (SIC) kami dirancang untuk penanganan wafer berkinerja tinggi di manufaktur semikonduktor canggih. Terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, lengan robot ini menawarkan resistensi luar biasa terhadap suhu tinggi, korosi plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang andal di lingkungan kamar bersih yang menuntut. Kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi yang luar biasa memungkinkan penanganan wafer yang tepat sambil meminimalkan risiko kontaminasi, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi penanganan wafer kritis lainnya. Kami menyambut pertanyaan Anda.

Veteksemicon berspesialisasi dalam menyediakan produk perahu wafer kuarsa khusus untuk industri semikonduktor. Lini produk kami meliputi perahu kaca kuarsa yang menyatu semikonduktor, kapal difusi kuarsa, dan kapal anil kuarsa yang disesuaikan, banyak digunakan dalam proses presisi tinggi seperti difusi, oksidasi, dan CVD. Veteksemicon bersikeras untuk menyediakan layanan komprehensif yang disesuaikan dari produk dan teknologi. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Perahu wafer veteksemicon sic banyak digunakan dalam proses suhu tinggi kritis dalam manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang andal untuk oksidasi, difusi, dan proses anil untuk sirkuit terintegrasi berbasis silikon. Mereka juga unggul di sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat cocok untuk proses yang menuntut seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD) untuk perangkat daya SIC dan GAN. Mereka juga mendukung fabrikasi suhu tinggi dari sel surya efisiensi tinggi di industri fotovoltaik. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Kepala shower grafit yang dilapisi CVD SIC dari Veteksemicon adalah komponen kinerja tinggi yang dirancang khusus untuk proses uap kimia semikonduktor (CVD). Diproduksi dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilindungi dengan pelapis silikon karbida uap kimia (CVD), kepala shower ini memberikan daya tahan yang luar biasa, stabilitas termal, dan ketahanan terhadap gas proses korosif. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.