Produk

Silicon Cassette Boat dari Veteksemicon adalah pembawa wafer rekayasa presisi yang dikembangkan khusus untuk aplikasi tungku semikonduktor suhu tinggi, termasuk oksidasi, difusi, drive-in, dan anil. Dibuat dari silikon dengan kemurnian sangat tinggi dan diselesaikan dengan standar pengendalian kontaminasi tingkat lanjut, produk ini menyediakan platform yang stabil secara termal dan inert secara kimia yang sangat cocok dengan sifat wafer silikon itu sendiri. Penyelarasan ini meminimalkan tekanan termal, mengurangi pembentukan slip dan cacat, dan memastikan distribusi panas yang sangat seragam ke seluruh batch

Dalam proses inti pertumbuhan epitaksi silikon karbida, Veteksemicon memahami bahwa kinerja susceptor secara langsung menentukan kualitas dan efisiensi produksi lapisan epitaksi. Susceptor EPI kami dengan kemurnian tinggi, dirancang khusus untuk bidang SiC, menggunakan substrat grafit khusus dan lapisan SiC CVD yang padat. Dengan stabilitas termal yang unggul, ketahanan terhadap korosi yang luar biasa, dan laju pembentukan partikel yang sangat rendah, produk ini memastikan ketebalan dan keseragaman doping yang tak tertandingi bagi pelanggan bahkan dalam lingkungan proses bersuhu tinggi yang keras. Memilih Veteksemicon berarti memilih landasan keandalan dan kinerja untuk proses manufaktur semikonduktor tingkat lanjut Anda.

Susceptor grafit berlapis Veteksemicon SiC untuk ASM adalah komponen pembawa inti dalam proses epitaksi semikonduktor. Produk ini menggunakan teknologi pelapisan silikon karbida pirolitik milik kami dan proses pemesinan presisi untuk memastikan kinerja unggul dan masa pakai yang sangat lama di lingkungan proses bersuhu tinggi dan korosif. Kami sangat memahami persyaratan ketat proses epitaxial pada kemurnian substrat, stabilitas termal, dan konsistensi, dan berkomitmen untuk menyediakan solusi yang stabil dan andal kepada pelanggan yang meningkatkan kinerja peralatan secara keseluruhan.

Cawan lebur kuarsa tingkat semikonduktor Veteksemicon adalah bahan habis pakai utama dalam proses pertumbuhan kristal tunggal Czochralski. Dengan kemurnian ekstrim dan stabilitas termal yang unggul sebagai fokus utama kami, kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas tinggi kepada pelanggan yang menunjukkan kinerja stabil dan ketahanan yang sangat baik terhadap kristalisasi di lingkungan suhu tinggi dan tekanan tinggi. Hal ini memastikan kualitas batang kristal dari sumbernya, membantu pembuatan wafer silikon semikonduktor mencapai hasil yang lebih tinggi dan efektivitas biaya yang lebih baik.

Cincin fokus Veteksemicon dirancang khusus untuk peralatan etsa semikonduktor yang menuntut, khususnya aplikasi etsa SiC. Dipasang di sekitar pencekam elektrostatis (ESC), di dekat wafer, fungsi utamanya adalah mengoptimalkan distribusi medan elektromagnetik di dalam ruang reaksi, memastikan aksi plasma seragam dan terfokus di seluruh permukaan wafer. Cincin fokus berperforma tinggi secara signifikan meningkatkan keseragaman tingkat etsa dan mengurangi efek tepi, sehingga secara langsung meningkatkan hasil produk dan efisiensi produksi.

Pelat Pembawa Silikon Karbida Veteksemicon Untuk Etsa LED, yang dirancang khusus untuk pembuatan chip LED, adalah bahan habis pakai inti dalam proses etsa. Terbuat dari silikon karbida kemurnian tinggi yang disinter secara presisi, ia menawarkan ketahanan kimia yang luar biasa dan stabilitas dimensi suhu tinggi, secara efektif menahan korosi dari asam kuat, basa, dan plasma. Sifat kontaminasinya yang rendah memastikan hasil yang tinggi untuk wafer epitaksi LED, sementara daya tahannya, jauh melebihi bahan tradisional, membantu pelanggan mengurangi biaya pengoperasian secara keseluruhan, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk meningkatkan efisiensi dan konsistensi proses etsa.