Chuck vakum Keramik SiC untuk wafer

Chuck vakum keramik Veteksemicon sic untuk wafer adalah komponen inti yang dikembangkan khusus untuk manufaktur semikonduktor generasi ketiga, dioptimalkan untuk lingkungan pemrosesan suhu tinggi dan tekanan tinggi yang dialami oleh wafer. Terbuat dari bahan keramik dengan kemurnian tinggi, permesinan presisi, dan perlakuan permukaan khusus memastikan kinerja penahan vakum yang stabil dan stabilitas termal yang sangat baik dalam proses manufaktur semikonduktor yang menuntut. Chuck vakum kami telah terbukti di lapangan oleh ratusan produsen semikonduktor, menunjukkan kinerja luar biasa dalam proses penting seperti epitaksi SiC, implantasi ion, dan fotolitografi. Mereka secara efektif mengatasi masalah kelengkungan wafer dan akurasi posisi yang disebabkan oleh kekerasan material yang tinggi dan suhu proses yang tinggi.

Informasi produk umum

Istilah bisnis produk

Aplikasi: Chuck vakum keramik Veteksemicon untuk wafer terbuat dari bahan keramik berkinerja tinggi dan mesin presisi untuk memastikan permukaan ultra-datar dan stabilitas termal yang sangat baik. Ini memberikan solusi adsorpsi wafer dan kontrol suhu yang andal untuk proses seperti pertumbuhan epitaksial, implantasi ion, dan fotolitografi, yang secara efektif meningkatkan hasil proses dan efisiensi produksi.

Layanan yang dapat diberikan: analisis skenario aplikasi pelanggan, pencocokan materi, pemecahan masalah teknis.

Profil Perusahaan：Veteksemicon memiliki 2 laboratorium, tim ahli dengan pengalaman material selama 20 tahun, dengan kemampuan R&D dan produksi, pengujian dan verifikasi.

Chuck vakum keramik Veteksemicon untuk keunggulan inti wafer

 ● Terobosan ilmu material

Saingan saya menggunakan formulasi bahan unik dan proses sintering untuk secara signifikan meningkatkan kekuatan mekanik dan stabilitas termal produknya sekaligus menjaga sifat isolasi bahan keramik yang sangat baik. Keramik berbasis alumina kami menggunakan bahan mentah dengan kemurnian tinggi dan formulasi aditif khusus, memastikan stabilitas dimensi yang sangat baik bahkan di lingkungan bersuhu tinggi. Keramik berbasis silikon karbida kami, melalui proses sintering yang dioptimalkan, mencapai konduktivitas termal yang lebih tinggi dan pencocokan termal yang lebih baik, menjadikannya sangat cocok untuk pemrosesan wafer SiC suhu tinggi.

 ● Kinerja manajemen termal yang sangat baik

Desain multi-lapisan dan pemesinan presisi kami yang unik memastikan bahwa chuck mempertahankan keseragaman termal yang sangat baik bahkan dalam kondisi pengoperasian suhu tinggi. Chuck silikon karbida memiliki konduktivitas termal melebihi 200W/m·K, memungkinkan penyeimbangan suhu dengan cepat dan mempertahankan variasi suhu permukaan wafer dalam ±0,8°C. Kemampuan manajemen termal yang unggul ini secara efektif menghindari cacat proses yang disebabkan oleh variasi suhu dan secara signifikan meningkatkan hasil produk.

● Teknologi pemesinan ultra-presisi

Saingan saya membanggakan pusat permesinan presisi terkemuka di Tiongkok, memanfaatkan proses penggilingan dan pemolesan unik untuk mencapai kerataan permukaan submikron. Chuck silikon karbida kami mencapai kerataan permukaan dalam 0,8μm, dengan nilai Ra kekasaran permukaan tidak lebih dari 0,1μm. Kualitas permukaan ultra-presisi ini memastikan kesesuaian sempurna antara wafer dan chuck, memberikan referensi datar yang andal untuk proses presisi seperti fotolitografi.

● Peningkatan masa pakai

Melalui formulasi bahan yang dioptimalkan dan desain struktur yang diperkuat, produk kami memiliki masa pakai melebihi 40% dibandingkan produk tradisional. Teknologi penguatan tepi khusus dan pelapisan permukaan memungkinkan produk kami tahan terhadap operasi penjepitan dan pembersihan yang sering dilakukan. Produk berbasis alumina dijamin dapat beroperasi lebih dari 200.000 kali, sedangkan produk berbasis silikon karbida dapat mencapai lebih dari 500.000 siklus, sehingga mengurangi biaya pengoperasian bagi pelanggan kami secara signifikan.

● Dukungan verifikasi rantai ekologi

Chuck vakum keramik Veteksemicon untuk verifikasi rantai ekologi wafer mencakup bahan mentah hingga produksi, telah lulus sertifikasi standar internasional, dan memiliki sejumlah teknologi yang dipatenkan untuk memastikan keandalan dan keberlanjutannya di bidang semikonduktor dan energi baru.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakanhubungi Tim Dukungan Teknis kamiuntuk mengeksplorasi bagaimana Veteksemicon dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.