Cincin Fokus SiC Padat

6.Bidang aplikasi utama

7. Keunggulan inti cincin fokus SiC padat dokter hewan

Ketahanan korosi plasma yang sangat baik

Di bawah paparan yang terlalu lama terhadap plasma yang sangat korosif dan berdensitas tinggi seperti CF4, O2, dan Cl2, bahan konvensional rentan terhadap keausan yang cepat dan kontaminasi partikel. Cincin fokus SiC padat kami menunjukkan ketahanan terhadap korosi yang sangat baik, dengan laju korosi yang jauh lebih rendah dibandingkan bahan seperti kuarsa atau alumina. Artinya, permukaannya tetap halus sepanjang waktu, secara signifikan mengurangi risiko cacat wafer yang disebabkan oleh keausan komponen, sehingga memastikan produksi massal yang berkelanjutan dan stabil.

Stabilitas suhu tinggi dan kinerja manajemen termal yang sangat baik

Proses etsa semikonduktor menghasilkan panas yang signifikan, menyebabkan komponen ruang mengalami fluktuasi suhu yang dramatis. Cincin fokus kami memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, mampu menahan suhu sementara hingga 1600°C tanpa retak atau deformasi. Selain itu, konduktivitas termal tinggi yang dimilikinya membantu menyebarkan panas secara merata dan cepat, secara efektif meningkatkan distribusi suhu di tepi wafer, sehingga meningkatkanng mengetsa keseragaman dan konsistensi dimensi kritis di seluruh wafer.

Kemurnian material dan kepadatan struktural yang luar biasa

Kami secara ketat mengontrol kemurnian bahan baku silikon karbida (≥99,999%) dan menghilangkan kontaminasi logam selama proses sintering untuk memenuhi persyaratan ketat proses manufaktur lanjutan untuk pengendalian pengotor jejak. Struktur padat yang terbentuk melalui sintering suhu tinggi memiliki porositas yang sangat rendah, hampir sepenuhnya menghalangi penetrasi gas proses dan produk sampingan. Hal ini mencegah penurunan kinerja dan pertumbuhan partikel yang disebabkan oleh degradasi material internal, sehingga memastikan lingkungan ruang proses yang murni.

Kehidupan mekanis yang tahan lama dan efektivitas biaya yang komprehensif

Dibandingkan dengan bahan habis pakai konvensional yang memerlukan penggantian sering, cincin fokus SiC padat Veteksemi menawarkan daya tahan yang luar biasa. Mereka mempertahankan kinerja yang stabil sepanjang masa pakainya, memperpanjang siklus penggantian beberapa kali. Hal ini tidak hanya secara langsung mengurangi biaya pengadaan suku cadang namun juga secara signifikan meningkatkan pemanfaatan mesin dengan mengurangi waktu henti peralatan untuk pemeliharaan, sehingga menghasilkan keuntungan biaya keseluruhan yang signifikan bagi pelanggan.

Kontrol ukuran yang tepat dan layanan penyesuaian yang fleksibel

Kami memahami kebutuhan yang tepat dari berbagai mesin dan proses untuk bahan habis pakai. Setiap cincin fokus menjalani pemesinan presisi dan pengujian ketat untuk memastikan toleransi dimensi kritis dalam ±0,05 mm. Kami juga menawarkan layanan yang disesuaikan, termasuk ukuran khusus, penyelesaian permukaan (pemolesan hingga Ra ≤ 0,2μm), dan penyesuaian konduktivitas agar sesuai dengan kebutuhan proses spesifik dan skenario aplikasi Anda.

Untuk spesifikasi teknis terperinci, kertas putih, atau pengaturan pengujian sampel, silakan hubungi Tim Dukungan Teknis kami untuk mempelajari bagaimana Veteksemi dapat meningkatkan efisiensi proses Anda.