Nosel keramik semikonduktor

Nosel keramik semikonduktor memainkan peran penting dalamProses HDP-CVD, digunakan untuk mengontrol aliran gas dan memastikan secara tepatdeposisi film berkualitas tinggi. Semprotan nosel keramik secara tepat direkayasa untuk memastikan laju aliran gas yang konsisten dan dapat dikendalikan, meminimalkan kemungkinan turbulensi ketika gas memasuki ruang reaksi.

Spesifikasi Teknis:

1.Komposisi Bahan:

Nosel peledakan pasir Keramik Semikonduktor VeTeK biasanya terbuat dari keramik semikonduktor seperti aluminium oksida (Al2O3),silikon karbida (sic), atau zirkonium oksida (ZrO2), bahan-bahan ini memiliki sifat yang sangat baik:

    • stabilitas termal yang tinggi (dapat menahan suhu di atas 1000℃)

    • ketahanan terhadap korosi oleh gas reaktif yang digunakanProses CVD(seperti silan, amonia)

    • Resistensi terhadap paparan plasma kontinu.

2. Desain Struktural:

    • Ukuran Lubang: Lubang nozel keramik semikonduktor dirancang secara ilmiah untuk memungkinkan kontrol aliran gas yang tepat, yang pada gilirannya mempengaruhi keseragaman dan ketebalan film.

    • Sudut dan Geometri: Dirancang secara tepat untuk memastikan distribusi gas seragam di seluruh substrat, meminimalkan cacat pada lapisan yang diendapkan.

Dalam industri semikonduktor, nosel ledakan keramik semikonduktor memainkan peran kunci terutama dalam proses HDP-CVD. Mereka juga digunakan untuk menyimpan film tipis untuk produksi mikroelektronika, memastikan pelapis permukaan berkualitas tinggi yang seragam dan bebas kontaminan.

Toko Nozzle Keramik Semikonduktor VeTeK: