Chuck elektrostatik keramik

Proses produksi semikonduktor, terutama pemrosesan wafer, dilakukan di lingkungan vakum, dan membawa wafer yang menjengkelkan secara mekanis 

risiko tertentu. Ketika gaya terkonsentrasi pada titik penjepit, wafer silikon yang rapuh dapat menumpahkan fragmen -fragmen kecil, menyebabkan kerusakan serius pada produksi wafer.

Dalam hal ini, chuck elektrostatik keramik menjadi pilihan yang lebih baik, yang memperbaiki wafer dengan gaya elektrostatik. Gaya elektrostatik bertindak secara merata pada wafer, sehingga wafer dapat diperbaiki dengan datar, meningkatkan keakuratan proses.

Menurut makalah penelitian yang relevan, chuck elektrostatik keramik memiliki pengisapan yang lebih kuat daripada chuck elektrostatik lainnya. Misalnya, chuck elektrostatik keramik memiliki pengisapan yang jauh lebih kuat daripada film elektrostatik Pet Chuck.

Keramik Chuck biasanya terbuat dari bahan keramik berkinerja tinggi seperti Al2O3, ALN atau SiC, yang memiliki ketahanan panas tinggi, isolasi dan ketahanan korosi. Chuck keramik SIC berpori tidak hanya stabil pada suhu ekstrem, tetapi juga secara efektif mencegah E-chuck keramik dari degradasi karena reagen kimia dan etsa plasma selama proses pembuatan.

Kontrol suhu: Konduktivitas termal tinggi dan sifat termal yang stabil dari bahan keramik memungkinkan alumina keramik vakum chuck untuk secara efektif mengontrol suhu, sehingga mengoptimalkan distribusi suhu selama proses.

Kemampuan beradaptasi vakum: Chuck elektrostatik keramik cocok untuk lingkungan vakum, terutama dalam proses etsa bertekanan rendah dan presisi tinggi.

Generasi partikel rendah: E-chuck keramik SIC berpori memiliki permukaan yang halus, yang dapat mengurangi kontaminasi partikel selama pemasangan wafer dan membantu meningkatkan hasil produk.

Aplikasi: Terutama digunakan dalam manufaktur semikonduktor, chuck elektrostatik keramik yang dapat dilepas yang menyediakan posisi dan stabilitas yang tepat, yang sangat membantu untuk litografi, etsa, dan proses pembuatan pemrosesan wafer semikonduktor lainnya. Pastikan wafer utuh selama pemrosesan dan meningkatkan kualitas produksi chip.

Itu semikonduktorToko Produksi E-Chuck Keramik: