Produk

Keramik Silikon Karbida

VeTek Semiconductor adalah mitra inovatif Anda di bidang pemrosesan semikonduktor. Dengan portofolio kami yang luas untuk kombinasi material Keramik Silikon Karbida tingkat semikonduktor, kemampuan manufaktur komponen, dan layanan rekayasa aplikasi, kami dapat membantu Anda mengatasi tantangan yang signifikan. Teknik teknis Keramik Silikon Karbida banyak diterapkan di industri semikonduktor karena kinerja materialnya yang luar biasa. Keramik Silikon Karbida ultra-murni VeTek Semiconductor sering digunakan di seluruh siklus pembuatan dan pemrosesan semikonduktor.


PENGOLAHAN DIFUSI & LPCVD

VeTek Semiconductor menyediakan komponen keramik rekayasa yang dirancang khusus untuk difusi batch dan kebutuhan LPCVD termasuk:

• Penyekat & penahan
• Injektor
• Liner & tabung proses
• Dayung Kantilever Silikon Karbida
• Perahu wafer dan alasnya


KOMPONEN PROSES Etch

Minimalkan kontaminasi dan pemeliharaan tak terjadwal dengan komponen dengan kemurnian tinggi yang dirancang untuk pemrosesan etsa plasma yang ketat, termasuk:

Cincin fokus

Nozel

Perisai

Pancuran

Jendela / Tutup

Komponen khusus lainnya


KOMPONEN PROSES TERMAL CEPAT & PROSES EPITAKSIAL

VeTek Semiconductor menyediakan komponen material canggih yang disesuaikan untuk aplikasi pemrosesan termal suhu tinggi di industri semikonduktor. Aplikasi ini mencakup RTP, proses Epi, difusi, oksidasi, dan anil. Keramik teknis kami dirancang untuk tahan terhadap guncangan termal, memberikan kinerja yang andal dan konsisten. Dengan komponen VeTek Semiconductor, produsen semikonduktor dapat mencapai pemrosesan termal yang efisien dan berkualitas tinggi, sehingga berkontribusi terhadap keberhasilan produksi semikonduktor secara keseluruhan.

• Diffuser

• Isolator

• Reseptor

• Komponen termal khusus lainnya


Sifat fisik Silikon Karbida Rekristalisasi
Milik Nilai Khas
Suhu kerja (°C) 1600°C (dengan oksigen), 1700°C (mengurangi lingkungan)
Konten SiC / SiC > 99,96%
Konten Si / Si Gratis < 0,1%
Kepadatan massal 2,60-2,70 gram/cm3
Porositas yang tampak < 16%
Kekuatan kompresi > 600 MPa
Kekuatan lentur dingin 80-90 MPa (20°C)
Kekuatan lentur panas 90-100 MPa (1400°C)
Ekspansi termal @1500°C 4,70 10-6/°C
Konduktivitas termal @1200°C 23  W/m·K
Modulus elastis 240 IPK
Ketahanan terhadap guncangan termal Sangat bagus


View as  
 
Perahu Wafer SiC

Perahu Wafer SiC

Kapal wafer sic digunakan untuk membawa wafer, terutama untuk proses oksidasi dan difusi, untuk memastikan bahwa suhu dapat didistribusikan secara merata pada permukaan wafer. Stabilitas suhu tinggi dan konduktivitas termal yang tinggi dari bahan SIC memastikan pemrosesan semikonduktor yang efisien dan andal. Vetek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga kompetitif.
Tabung proses sic

Tabung proses sic

Vetek Semiconductor menyediakan tabung proses SIC berkinerja tinggi untuk pembuatan semikonduktor. Tabung proses SIC kami unggul dalam oksidasi, proses difusi. Dengan kualitas dan pengerjaan yang unggul, tabung ini menawarkan stabilitas suhu tinggi dan konduktivitas termal untuk pemrosesan semikonduktor yang efisien. Kami menawarkan harga kompetitif dan berusaha menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.
Dayung Kantilever SiC

Dayung Kantilever SiC

Dayung SIC Cantilever Vetek Semiconductor digunakan dalam tungku perlakuan panas untuk menangani dan mendukung kapal wafer. Stabilitas suhu yang tinggi dan konduktivitas termal yang tinggi dari bahan SIC memastikan efisiensi dan reliabilitas yang tinggi dalam proses pemrosesan semikonduktor. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dengan harga kompetitif dan berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.
Perahu Wafer Silikon Karbida untuk Tungku Horisontal

Perahu Wafer Silikon Karbida untuk Tungku Horisontal

Perahu wafer SiC memiliki persyaratan tinggi dalam kemurnian material.Vetek Semiconductor memasok kemurnian SiC >99,96% SiC yang direkristalisasi ke produk ini.VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional di China untuk perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan produksi, dapat mengontrol kualitas dengan baik dan menawarkan harga yang kompetitif. Anda dapat yakin untuk membeli perahu wafer silikon karbida untuk tungku horizontal dari kami.
Perahu Wafer Silikon Karbida Berlapis SiC

Perahu Wafer Silikon Karbida Berlapis SiC

Perahu Wafer Silikon Karbida Dilapisi SiC dirancang dengan 165 slot untuk membawa wafer.VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok profesional di China untuk perahu wafer silikon karbida berlapis SiC, dengan pengalaman bertahun-tahun dalam R&D dan produksi, dapat mengontrol kualitas dengan baik dan menawarkan daya saing. harga. Selamat datang untuk mengunjungi pabrik kami dan berdiskusi lebih lanjut tentang kerja sama.
Silikon cantilever dayung silikon

Silikon cantilever dayung silikon

Paddle Cantilever Silicon Cantilever Silicon Vetek adalah komponen penting dalam proses pembuatan semikonduktor, terutama yang cocok untuk tungku difusi atau tungku LPCVD dalam proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Dayung kantilever silikon karbida kami dirancang dan diproduksi dengan hati-hati dengan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik dan kekuatan mekanik, dan dapat dengan aman dan andal mengangkut wafer ke tabung proses di bawah kondisi proses yang keras untuk berbagai proses suhu tinggi seperti difusi dan RTP. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China. Gratis untuk menanyakan kami.
Sebagai produsen dan pemasok profesional Keramik Silikon Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Keramik Silikon Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept