Keramik Silikon Karbida

Lengan robot Silicon Carbide (SIC) kami dirancang untuk penanganan wafer berkinerja tinggi di manufaktur semikonduktor canggih. Terbuat dari silikon karbida dengan kemurnian tinggi, lengan robot ini menawarkan resistensi luar biasa terhadap suhu tinggi, korosi plasma, dan serangan kimia, memastikan operasi yang andal di lingkungan kamar bersih yang menuntut. Kekuatan mekanik dan stabilitas dimensi yang luar biasa memungkinkan penanganan wafer yang tepat sambil meminimalkan risiko kontaminasi, menjadikannya pilihan yang ideal untuk MOCVD, epitaxy, implantasi ion, dan aplikasi penanganan wafer kritis lainnya. Kami menyambut pertanyaan Anda.

Perahu wafer veteksemicon sic banyak digunakan dalam proses suhu tinggi kritis dalam manufaktur semikonduktor, berfungsi sebagai pembawa yang andal untuk oksidasi, difusi, dan proses anil untuk sirkuit terintegrasi berbasis silikon. Mereka juga unggul di sektor semikonduktor generasi ketiga, sangat cocok untuk proses yang menuntut seperti pertumbuhan epitaxial (EPI) dan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD) untuk perangkat daya SIC dan GAN. Mereka juga mendukung fabrikasi suhu tinggi dari sel surya efisiensi tinggi di industri fotovoltaik. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Veteksemicon sic cantilever dayung adalah lengan pendukung silikon karbida tinggi-kemurnian yang dirancang untuk penanganan wafer dalam tungku difusi horizontal dan reaktor epitaxial. Dengan konduktivitas termal yang luar biasa, ketahanan korosi, dan kekuatan mekanik, dayung ini memastikan stabilitas dan kebersihan dalam lingkungan semikonduktor yang menuntut. Tersedia dalam ukuran khusus dan dioptimalkan untuk umur layanan yang panjang.

Blok SIC Veteksemicon dirancang untuk penggilingan efisiensi tinggi dan penipisan silikon dan wafer safir. Dengan konduktivitas termal yang sangat baik (≥120 W/M · K), ketahanan guncangan termal yang tinggi, dan resistensi keausan superior (MOHS ≥9), blok kami meningkatkan stabilitas proses dan mengurangi frekuensi perubahan pahat. Tersedia dalam ukuran dari 120mm hingga 480mm, dengan opsi khusus dan pengiriman cepat untuk memenuhi kebutuhan produksi yang beragam.

Veteksemicon SIC Ceramics membran adalah jenis membran anorganik dan milik bahan membran padat dalam teknologi pemisahan membran. Membran SIC ditembakkan pada suhu di atas 2000 ℃. Permukaan partikel halus dan bulat. Tidak ada pori atau saluran tertutup di lapisan pendukung dan setiap lapisan. Mereka biasanya terdiri dari tiga lapisan dengan ukuran pori yang berbeda.

Pelat keramik SIC berpori kami adalah bahan keramik berpori yang terbuat dari silikon karbida sebagai komponen utama dan diproses oleh proses khusus. Mereka adalah bahan yang sangat diperlukan dalam manufaktur semikonduktor, deposisi uap kimia (CVD) dan proses lainnya.