Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nozel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC
Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Cincin deflektor berlapis tac

Cincin deflektor berlapis TAC Vetek Semiconductor adalah komponen yang sangat khusus yang dirancang untuk proses pertumbuhan kristal SiC. Lapisan TAC memberikan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik dan inertness kimia untuk mengatasi suhu tinggi dan lingkungan korosif selama proses pertumbuhan kristal. Ini memastikan kinerja yang stabil dan umur panjang komponen, mengurangi frekuensi penggantian dan waktu henti. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga kompetitif dan berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di China. Berlumat untuk berkonsultasi kapan saja.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Tantalum carbide coated tube untuk pertumbuhan kristal

Tantalum karbida yang dilapisi tabung untuk pertumbuhan kristal terutama digunakan dalam proses pertumbuhan kristal SiC. Vetek Semiconductor telah memasok tabung yang dilapisi Tantalum karbida untuk pertumbuhan kristal selama bertahun -tahun dan telah bekerja di bidang pelapisan TAC selama bertahun -tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi dan ketahanan suhu tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina. Jangan ragu untuk menanyakan kami.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Cincin Dilapisi TAC untuk Reaktor Epitaxial SiC

Vetek Semiconductor adalah produsen terkemuka dan inovator teknologi cincin berlapis TAC untuk reaktor epitaxial SiC di Cina, dengan fokus pada penyediaan solusi kinerja tinggi untuk reaktor epitaxial SiC. Kami memiliki pengalaman bertahun -tahun dalam teknologi pelapisan TAC. Cincin yang dilapisi TAC memiliki karakteristik kemurnian tinggi, stabilitas tinggi, resistensi korosi yang sangat baik, dll., Dan dapat memberikan kinerja stabil jangka panjang di lingkungan kerja yang keras dari reaktor epitaxial. Kami berharap dapat membangun kemitraan strategis jangka panjang dengan Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide untuk LPE

VeTek Semiconductor adalah pemasok terkemuka Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide untuk LPE di Tiongkok, dengan fokus pada teknologi pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida untuk LPE kami dirancang untuk proses epitaksi fase cair dan dapat menahan suhu tinggi lebih dari 2000 derajat Celcius. Dengan kinerja material yang sangat baik dan inovasi proses, kehidupan produk kami berada pada level terdepan di industri. VeTek Semiconductor berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Ring Panduan Dilapisi TAC

Cincin panduan berlapis TAC terbuat dari grafit berkualitas tinggi dan pelapisan TAC. Dalam persiapan kristal SIC dengan metode PVT, cincin pemandu berlapis TAC Vetek Semiconductor terutama digunakan untuk memandu dan mengontrol aliran udara, mengoptimalkan proses pertumbuhan kristal tunggal, dan meningkatkan hasil kristal tunggal. Dengan teknologi pelapisan TAC yang sangat baik, produk kami memiliki ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi dan sifat mekanik yang baik.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Disk rotasi planet yang dilapisi tantalum karbida

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Karbida terkemuka di Tiongkok, dengan fokus pada teknologi pelapisan TaC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi dan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, yang diakui secara luas oleh produsen semikonduktor. Disk Rotasi Planet Berlapis Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek telah menjadi tulang punggung industri epitaksi wafer. Kami berharap dapat menjalin kemitraan jangka panjang dengan Anda untuk bersama-sama mendorong kemajuan teknologi dan optimalisasi produksi.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Lapisan Tantalum Karbida

Fitur Utama:

Aplikasi:

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Data EDX pelapisan TaC：

Data struktur kristal pelapis TaC:

Cincin deflektor berlapis tac

Tantalum carbide coated tube untuk pertumbuhan kristal

Cincin Dilapisi TAC untuk Reaktor Epitaxial SiC

Bagian Halfmoon Dilapisi Tantalum Carbide untuk LPE

Ring Panduan Dilapisi TAC

Disk rotasi planet yang dilapisi tantalum karbida

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat