Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nozel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC
Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Cincin pelapis TAC CVD

Dalam industri semikonduktor, CVD TAC Coating Ring adalah komponen yang sangat menguntungkan yang dirancang untuk memenuhi persyaratan yang menuntut proses pertumbuhan kristal silikon karbida (SIC). Cincin pelapis CVD TAC Vetek Semiconductor memberikan resistensi suhu tinggi dan inertness kimia, menjadikannya pilihan ideal untuk lingkungan yang ditandai dengan peningkatan suhu dan kondisi korosif. Kami berkomitmen untuk menciptakan produksi efisien aksesori kristal tunggal silikon karbida tunggal. Tolong hubungi kami untuk pertanyaan lebih lanjut.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

LPE SIC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon adalah desain khusus untuk tungku epitaksi horizontal, produk revolusioner yang dirancang untuk meningkatkan proses epitaksi SiC reaktor LPE. Solusi mutakhir ini menawarkan beberapa fitur utama yang memastikan kinerja dan efisiensi unggul di seluruh operasi manufaktur Anda. Vetek Semiconductor profesional dalam pembuatan setengah bulan LPE SiC Epi dalam ukuran 6 inci, 8 inci. Berharap untuk menjalin kerja sama jangka panjang dengan Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Memimpin epi

Vetek Semiconductor adalah pemasok terkemuka pelapis TAC dan bagian grafit pelapis sic. Kami berspesialisasi dalam produksi rentak EPI LED mutakhir, penting untuk proses epitaks LED. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Rentan mocvd dengan lapisan tac

VeTek Semiconductor adalah pemasok komprehensif yang terlibat dalam penelitian, pengembangan, produksi, desain, dan penjualan pelapis TaC dan komponen pelapis SiC. Keahlian kami terletak pada produksi Susceptor MOCVD yang canggih dengan Lapisan TaC, yang memainkan peran penting dalam proses epitaksi LED. Kami menyambut Anda untuk berdiskusi dengan kami pertanyaan dan informasi lebih lanjut.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

TAC Dilapisi Deep UV LED Kerentanan

Lapisan TaC adalah lapisan generasi baru yang dikembangkan untuk lingkungan yang keras. VeTek Semiconductor adalah pemasok terintegrasi yang terlibat dalam penelitian dan pengembangan, produksi, desain, dan penjualan lapisan TaC. Kami mengkhususkan diri dalam pembuatan Susceptors LED UV TaC Coated yang canggih, yang merupakan komponen penting dalam proses epitaksi LED. Susceptor LED UV Dalam Berlapis TaC kami menawarkan konduktivitas termal yang tinggi, kekuatan mekanik yang tinggi, peningkatan efisiensi produksi, dan perlindungan wafer epitaksi. Selamat datang untuk menanyakan kami.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC

Suku cadang Halfmoon yang dilapisi dengan lapisan CVD TaC, lebih tahan lama dibandingkan suku cadang halfmoon yang dilapisi SiC. VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok terkemuka di China untuk Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, kami mengkhususkan diri dalam R&D dan produksi, dapat mengontrol kualitas dengan baik dan menawarkan daya saing harga. Anda dipersilakan untuk mengunjungi pabrik kami untuk diskusi lebih lanjut mengenai kerjasama jangka panjang.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Lapisan Tantalum Karbida

Fitur Utama:

Aplikasi:

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Data EDX pelapisan TaC：

Data struktur kristal pelapis TaC:

Cincin pelapis TAC CVD

LPE SIC EPI Halfmoon

Memimpin epi

Rentan mocvd dengan lapisan tac

TAC Dilapisi Deep UV LED Kerentanan

Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat