Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Produk

Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.


Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.


Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.


Fitur Utama:

 ●Stabilitas suhu

 ●Kemurnian sangat tinggi

 ●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

 ●Ketahanan terhadap stok termal

 ●Daya rekat kuat pada grafit

 ●Cakupan lapisan konformal

 ● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Penerima pemanasan induktif

 ● Elemen pemanas resistif

 ●Disk satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin panduan

 ●Penerima Epi LED

 ●Nozel injeksi

 ●Cincin penyamaran

 ● Pelindung panas


Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan 14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik 0.3
Koefisien ekspansi termal 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000HK
Perlawanan 1×10-5Ohm*cm
Stabilitas termal <2500℃
Perubahan ukuran grafit -10~-20um
Ketebalan lapisan Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)


Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen Persen atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Rata-rata
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Mereka 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Cincin Tiga Kelopak Dilapisi TaC

Cincin Tiga Kelopak Dilapisi TaC

VeTek Semiconductor adalah produsen dan inovator Cincin Tiga Kelopak Berlapis TaC terkemuka di China. Kami telah mengkhususkan diri dalam pelapisan TaC dan SiC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki ketahanan terhadap korosi, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok. Selamat datang untuk berkonsultasi kapan saja.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Tantalum carbide coated chuck

Tantalum carbide coated chuck

Vetek Semiconductor adalah produsen dan inovator Chuck yang dilapisi Tantalum Carbide terkemuka di Cina. Kami telah berspesialisasi dalam pelapisan TAC selama bertahun-tahun. Produk kami memiliki kemurnian tinggi dan resistensi suhu tinggi hingga tahun 2000. Kami berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di China. Datang untuk berkonsultasi kapan saja.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Tantalum carbide cover

Tantalum carbide cover

Vetek Semiconductor adalah produsen penutup dan inovator yang dilapisi Tantalum Carbide terkemuka di Cina. Kami telah berspesialisasi dalam lapisan TAC dan SIC selama bertahun -tahun. Produk kami memiliki ketahanan korosi, kekuatan tinggi. Kami berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di China. Berlumat untuk berkonsultasi kapan saja.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Halfmoon bawah grafit ultra murni

Halfmoon bawah grafit ultra murni

Vetek Semiconductor adalah pemasok terkemuka dari halfmoon bawah grafit ultra murni yang disesuaikan di Cina, yang berspesialisasi dalam bahan canggih selama bertahun -tahun. Halfmoon bawah grafit ultra murni kami dirancang khusus untuk peralatan epitaxial SiC, memastikan kinerja yang sangat baik. Terbuat dari grafit impor ultra-murni, ia menawarkan keandalan dan daya tahan. Kunjungi pabrik kami di Cina untuk mengeksplorasi grafit setengah murni berkualitas tinggi kami secara langsung.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Bagian setengah moon atas sic dilapisi

Bagian setengah moon atas sic dilapisi

Vetek Semiconductor adalah pemasok terkemuka bagian setengah moon atas yang dilapisi di Cina, yang berspesialisasi dalam bahan canggih selama lebih dari 20 tahun. VETEK Semiconductor bagian setengah bagian atas yang dilapisi secara khusus dirancang untuk peralatan epitaxial SiC, berfungsi sebagai komponen penting dalam ruang reaksi. Terbuat dari grafit ultra-murni, semikonduktor, memastikan kinerja yang sangat baik. Kami mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik kami di China. Berlumat untuk berkonsultasi kapan saja.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier

Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier

Vetek Semiconductor adalah pemasok pembawa wafer silikon karbida yang disesuaikan di Cina. Kami telah berspesialisasi dalam bahan canggih lebih dari 20 tahun. Kami menawarkan pembawa wafer epitaxy silikon karbida untuk membawa substrat sic, menanam lapisan epitaxy sic dalam reaktor epitaxial sic. Pembawa wafer epitaxy silikon karbida ini adalah bagian penting yang dilapisi SIC dari bagian halfmoon, ketahanan suhu tinggi, resistensi oksidasi, ketahanan aus. Kami menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami di China. Dukungan untuk berkonsultasi kapan saja.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
Rekomendasi Berita
Penjelasan lengkap tentang proses pembuatan chip (2/2): Dari wafer hingga pengemasan dan pengujian
Penjelasan lengkap tentang proses pembuatan chip (2/2): Dari wafer hingga pengemasan dan pengujianLihat Lebih Banyak >>
Aplikasi bagian grafit berlapis tac dalam tungku kristal tunggal
Aplikasi bagian grafit berlapis tac dalam tungku kristal tunggalLihat Lebih Banyak >>
Apa aplikasi spesifik bagian yang dilapisi TAC di bidang semikonduktor?
Apa aplikasi spesifik bagian yang dilapisi TAC di bidang semikonduktor?Lihat Lebih Banyak >>
Berapa gradien suhu bidang termal dari tungku kristal tunggal?
Berapa gradien suhu bidang termal dari tungku kristal tunggal?Lihat Lebih Banyak >>
Apa itu Tungku Epitaksi EPI? - Semikonduktor VeTek
Apa itu Tungku Epitaksi EPI? - Semikonduktor VeTekLihat Lebih Banyak >>
Desain Bidang Termal untuk Pertumbuhan Kristal Tunggal SiC
Desain Bidang Termal untuk Pertumbuhan Kristal Tunggal SiCLihat Lebih Banyak >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept