Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nozel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC
Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Gan pada penerima EPI

GAN pada rangsangan EPI SIC memainkan peran penting dalam pemrosesan semikonduktor melalui konduktivitas termal yang sangat baik, kemampuan pemrosesan suhu tinggi dan stabilitas kimia, dan memastikan efisiensi tinggi dan kualitas material dari proses pertumbuhan epitaxial GAN. Vetek Semiconductor adalah produsen Profesional GAN di China di SIC EPI RMOSCECTOR, kami dengan tulus menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Pembawa Coating CVD TAC

CVD TAC Coating Carrier terutama dirancang untuk proses epitaxial dari manufaktur semikonduktor. Titik lebur ultra-tinggi CVD TAC CVD, resistensi korosi yang sangat baik, dan stabilitas termal yang luar biasa menentukan ketidaksetujuan produk ini dalam proses epitaxial semikonduktor. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Dukungan Grafit TAC

Kerentanan grafit TAC Vetek Semiconductor menggunakan metode uap kimia (CVD) untuk menyiapkan lapisan tantalum karbida pada permukaan bagian grafit. Proses ini adalah yang paling matang dan memiliki sifat pelapis terbaik. Kerentanan grafit yang dilapisi TAC dapat memperpanjang masa pakai komponen grafit, menghambat migrasi kotoran grafit, dan memastikan kualitas epitaxy. Kami menantikan pertanyaan Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

TAC Coating Subser

Vetek Semiconductor menyajikan kerentanan pelapisan TAC, dengan pelapisan TAC yang luar biasa, kerentanan ini menawarkan banyak keunggulan yang membedakannya dari solusi konvensional. Mengintegrasikan dengan mulus ke dalam sistem yang ada, rentan pelapisan TAC dari Vetek Semiconductor yang menjamin kompatibilitas dan operasi yang efisien. Kinerja yang andal dan pelapisan TAC berkualitas tinggi secara konsisten memberikan hasil luar biasa dalam proses epitaxy SiC. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga kompetitif dan berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Pelat rotasi pelapis TAC

Pelat rotasi pelapis TAC yang diproduksi oleh semikonduktor Vetek menawarkan lapisan TAC yang luar biasa, dengan pelapisan TAC yang luar biasa, pelapis rotasi TAC TAC memiliki resistensi suhu tinggi yang luar biasa dan inertness kimia, yang membedakannya dari solusi tradisional.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Pelat pelapis TAC

Dirancang dengan presisi dan direkayasa dengan sempurna, pelat pelapis TAC semikonduktor Vetek secara khusus dirancang untuk berbagai aplikasi dalam proses pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (SIC). Konstruksi yang tepat dan konstruksi yang kuat memudahkan untuk berintegrasi ke dalam sistem yang ada, memastikan kompatibilitas dan operasi yang mulus. Kinerja yang andal dan lapisan berkualitas tinggi berkontribusi pada hasil yang konsisten dan seragam dalam aplikasi pertumbuhan kristal SiC. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga kompetitif dan berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Lapisan Tantalum Karbida

Fitur Utama:

Aplikasi:

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Data EDX pelapisan TaC：

Data struktur kristal pelapis TaC:

Gan pada penerima EPI

Pembawa Coating CVD TAC

Dukungan Grafit TAC

TAC Coating Subser

Pelat rotasi pelapis TAC

Pelat pelapis TAC

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat