Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Produk

Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.


Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.


Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.


Fitur Utama:

 ●Stabilitas suhu

 ●Kemurnian sangat tinggi

 ●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

 ●Ketahanan terhadap stok termal

 ●Daya rekat kuat pada grafit

 ●Cakupan lapisan konformal

 ● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Penerima pemanasan induktif

 ● Elemen pemanas resistif

 ●Disk satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin panduan

 ●Penerima Epi LED

 ●Nozel injeksi

 ●Cincin penyamaran

 ● Pelindung panas


Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan 14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik 0.3
Koefisien ekspansi termal 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000HK
Perlawanan 1×10-5Ohm*cm
Stabilitas termal <2500℃
Perubahan ukuran grafit -10~-20um
Ketebalan lapisan Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)


Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen Persen atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Rata-rata
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Mereka 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Pelat rotasi pelapis TAC

Pelat rotasi pelapis TAC

Pelat rotasi pelapis TAC yang diproduksi oleh semikonduktor Vetek menawarkan lapisan TAC yang luar biasa, dengan pelapisan TAC yang luar biasa, pelapis rotasi TAC TAC memiliki resistensi suhu tinggi yang luar biasa dan inertness kimia, yang membedakannya dari solusi tradisional.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Pelat pelapis TAC

Pelat pelapis TAC

Dirancang dengan presisi dan direkayasa dengan sempurna, pelat pelapis TAC semikonduktor Vetek secara khusus dirancang untuk berbagai aplikasi dalam proses pertumbuhan kristal tunggal silikon karbida (SIC). Konstruksi yang tepat dan konstruksi yang kuat memudahkan untuk berintegrasi ke dalam sistem yang ada, memastikan kompatibilitas dan operasi yang mulus. Kinerja yang andal dan lapisan berkualitas tinggi berkontribusi pada hasil yang konsisten dan seragam dalam aplikasi pertumbuhan kristal SiC. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga kompetitif dan berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Penutup Lapisan TAC CVD

Penutup Lapisan TAC CVD

Penutup pelapis TAC CVD yang disediakan oleh Vetek Semiconductor adalah komponen yang sangat khusus yang dirancang khusus untuk aplikasi yang menuntut. Dengan fitur -fitur canggih dan kinerja yang luar biasa, penutup pelapis CVD TAC kami menawarkan beberapa keunggulan utama. Penutup pelapis TAC CVD kami memberikan perlindungan dan kinerja yang diperlukan untuk sukses. Kami menantikan untuk mengeksplorasi potensi kerja sama dengan Anda!
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
TAC Coating Planetary Ronsceptor

TAC Coating Planetary Ronsceptor

TAC Coating Planetary Ronsceptor adalah produk yang luar biasa untuk peralatan epitaxy Aixtron. Lapisan TAC Vetek Semiconductor memberikan resistensi suhu tinggi yang sangat baik dan inertness kimia. Kombinasi unik ini memastikan kinerja yang andal dan umur layanan yang panjang, bahkan di lingkungan yang menuntut. Vetek berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas tinggi dan berfungsi sebagai mitra jangka panjang di pasar Cina dengan harga kompetitif.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Pelat dukungan alas pelapis TAC

Pelat dukungan alas pelapis TAC

TAC Coating dapat menahan suhu tinggi 2200 ℃. Vetek Semiconductor menyediakan lapisan TAC kemurnian tinggi dengan kotoran di bawah 5ppm di Cina. Pelat pendukung alas pelapis TAC mampu menahan amonia hidrogen, argonin di ruang reaksi perangkat epitaxial. Ini meningkatkan masa pakai produk. Anda memberikan persyaratan, kami memberikan kustomisasi.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
TAC Coating Chuck

TAC Coating Chuck

TAC Coating Chuck Vetek Semiconductor memiliki lapisan berkualitas tinggi di permukaan, yang dikenal karena resistensi suhu tinggi yang luar biasa dan inertness kimia, khususnya dalam proses epitaxy (EPI) silikon karbida silikon (SIC). Dengan fitur luar biasa dan kinerja yang unggul, TAC Coating Chuck kami menawarkan beberapa keunggulan utama. Kami berkomitmen untuk menyediakan produk berkualitas dengan harga kompetitif dan berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
Rekomendasi Berita
Prinsip dan Teknologi Deposisi Uap Fisik (PVD) Coating (2/2) - Vetek Semiconductor
Prinsip dan Teknologi Deposisi Uap Fisik (PVD) Coating (2/2) - Vetek SemiconductorLihat Lebih Banyak >>
Apa perbedaan antara pelapis silikon karbida dan tantalum carbide?
Apa perbedaan antara pelapis silikon karbida dan tantalum carbide?Lihat Lebih Banyak >>
Tahukah Anda tentang MOCVD RMOTCECTOR?
Tahukah Anda tentang MOCVD RMOTCECTOR?Lihat Lebih Banyak >>
Peralatan pengukuran apa yang ada di pabrik yang luar biasa? - Vetek Semiconductor
Peralatan pengukuran apa yang ada di pabrik yang luar biasa? - Vetek SemiconductorLihat Lebih Banyak >>
Penjelasan lengkap tentang proses pembuatan chip (1/2): Dari wafer hingga pengemasan dan pengujian
Penjelasan lengkap tentang proses pembuatan chip (1/2): Dari wafer hingga pengemasan dan pengujianLihat Lebih Banyak >>
Mengapa lapisan Tantalum carbide (TAC) lebih unggul dari lapisan silikon karbida (sic) dalam pertumbuhan kristal tunggal SiC? - Vetek Semiconductor
Mengapa lapisan Tantalum carbide (TAC) lebih unggul dari lapisan silikon karbida (sic) dalam pertumbuhan kristal tunggal SiC? - Vetek SemiconductorLihat Lebih Banyak >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept