Dukungan berputar grafit

Wafer Kerentanan adalah suatu keharusan untuk proses pertumbuhan epitaxial. Selama pertumbuhan epitaxial, substrat wafer ditempatkan di kerentanan. Vetek Semiconductor's High-Purity Rotating Stsceptor digunakan dalam peralatan pemrosesan material di bawah suhu tinggi dan lingkungan vakum tinggi. Dalam pertumbuhan epitaxial gallium nitrida (proses MOCVD), mereka memainkan peran pendukung dalam rotasi substrat. Kerentanan grafit berputar Vetek Semiconductor memiliki keunggulan berikut:

● Kemurnian tinggi: Konten pengotor dalam kerentanan rotasi grafit dengan kemurnian tinggi di bawah 5ppm. Tingkat grafit kemurnian ini dapat menghindari pelepasan kotoran pada suhu tinggi untuk memastikan kebersihan proses pengendapan. Oleh karena itu, tidak ada lapisan yang diperlukan untuk memenuhi persyaratan kerja.

Grafit kemurnian tinggi

● Sifat termal yang sangat baik: Grafit dengan kemurnian tinggi memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, dan konduktivitas termal jauh lebih tinggi daripada bahan lainnya. Koefisien ekspansi termal kecil dan dapat mempertahankan kinerja yang stabil saat mengalami perubahan suhu.

● Sifat mekanik yang baik: Grafit dengan kemurnian tinggi memiliki ketahanan dan ketangguhan keausan yang baik, yang dapat memenuhi persyaratan kompleks proses CVD.

●  Excellent conductivity: Konduktivitasnya seratus kali lebih tinggi dari mineral non-logam umum.

● Stabilitas kimia: Ini dapat menahan korosi dari asam, alkalis dan pelarut organik

Selain itu, sebagai produsen dan pemasok terkemuka dari kerentanan berputar grafit kemurnian tinggi di Cina, semikonduktor Vetek juga memasok berkualitas tinggiSIC Coated Graphite Rhartceptor untuk MOCVD, SIC dilapisi rentah barel, Dukungan grafit yang dilapisi TACDanMOCVD SIC COATING RUMN.Vetek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor, dan juga mendukung layanan khusus. Kami dengan tulus berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Itu semikonduktorToko Produk Kerentanan Berputar Grafit: