Lapisan keramik silikon karbida

Itu semikonduktor Lapisan keramik silikon karbidaadalah lapisan pelindung kinerja tinggi yang terbuat dari bahan silikon karbida (sic) yang sangat keras dan tahan aus, yang memberikan ketahanan korosi kimia yang sangat baik dan stabilitas suhu tinggi. Sifat -sifat ini sangat penting dalam produksi semikonduktor, sehingga lapisan keramik silikon karbida banyak digunakan pada komponen utama peralatan manufaktur semikonduktor.

Peran spesifik yang dimainkan oleh lapisan keramik silikon karbida semikonduktor vetek dalam produksi semikonduktor adalahsebagai berikut:

Tingkatkan Daya Daya Peralatan: Lapisan keramik silikon karbida memberikan perlindungan permukaan yang sangat baik untuk peralatan manufaktur semikonduktor dengan kekerasan dan ketahanan aus yang sangat tinggi. Khususnya dalam lingkungan proses yang sangat korosif yang sangat korosif, seperti pengendapan uap kimia (CVD) dan etsa plasma, lapisan keramik silikon karbida dapat secara efektif mencegah kerusakan pada permukaan peralatan karena erosi kimia atau keausan fisik, sehingga secara signifikan memperpanjang umur layanan peralatan dan mengurangi downtime yang disebabkan oleh penggantian dan pemeliharaan yang sesering.

Meningkatkan kemurnian proses: Dalam proses pembuatan semikonduktor, kontaminasi kecil dapat menyebabkan cacat produk. Kelembaman kimia lapisan keramik silikon karbida memungkinkannya tetap stabil dalam kondisi ekstrem, mencegah bahan melepaskan partikel atau kotoran, dan memastikan kemurnian lingkungan selama proses. Ini sangat penting untuk langkah -langkah manufaktur yang membutuhkan presisi tinggi dan kebersihan tinggi, seperti PECVD dan implantasi ion.

Mengoptimalkan manajemen termal: Dalam pemrosesan semikonduktor suhu tinggi, seperti proses pemrosesan termal cepat (RTP) dan oksidasi, konduktivitas termal tinggi lapisan keramik silikon karbida memungkinkan distribusi suhu yang seragam di dalam peralatan. Ini membantu mengurangi tekanan termal dan deformasi material yang disebabkan oleh fluktuasi suhu, sehingga meningkatkan akurasi dan konsistensi pembuatan produk.

Mendukung lingkungan proses yang kompleks: Dalam proses yang memerlukan kontrol atmosfer yang kompleks, seperti etsa ICP dan proses etsa PSS, stabilitas dan resistensi oksidasi pemanas pelapisan keramik silikon karbida memastikan kinerja peralatan yang stabil dalam operasi jangka panjang, mengurangi risiko degradasi material atau kerusakan peralatan karena perubahan lingkungan.

Itu semikonduktorBerfokus pada pembuatan dan memasok kinerja tinggiLapisan keramik silikon karbida, dan berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor.Kami dengan tulus berharap menjadi mitra jangka panjang Anda di China.

Sifat fisik dasar dariLapisan keramik silikon karbida:

Toko pelapis keramik silikon vetek semikonduktor:

Tinjauan Umum Rantai Industri Epitaxy Chip Semikonduktor: