Silikon karbida wafer chuck

Vetek semikonduktor silikon karbida wafer chuck menggunakan sifat yang sangat baik dari bahan silikon karbida untuk memenuhi persyaratan ketat dari produksi semikonduktor, terutama dalam pemrosesan semikonduktor yang membutuhkan presisi dan keandalan yang sangat tinggi.

Dalam proses pemrosesan semikonduktor,Silikon karbidaMemiliki resistensi suhu tinggi yang sangat baik (dapat bekerja secara stabil hingga 1400 ° C), konduktivitas rendah (SiC memiliki konduktivitas yang relatif rendah, biasanya 10^^-3S/M) dan koefisien ekspansi termal rendah (sekitar 4,0 × 10^^-6/° C), yang merupakan bahan yang sangat diperlukan dan penting, terutama cocok untuk pembuatan silikon karbida wafer chuck.

Selamaproses pertumbuhan epitaxial, lapisan tipis bahan semikonduktor disimpan pada substrat, yang membutuhkan stabilitas absolut dari wafer untuk memastikan lapisan deposisi film yang seragam dan berkualitas tinggi. SIC Vacuum Chuck mencapai hal ini dengan menciptakan vakum yang kuat dan konsisten untuk mencegah gerakan atau deformasi wafer.

Wafer Chuck silikon karbida juga menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap guncangan termal. Perubahan suhu yang cepat umum terjadi pada manufaktur semikonduktor, dan bahan yang tidak dapat menahan fluktuasi ini dapat retak, menekuk, atau gagal. Silikon karbida memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah dan dapat mempertahankan bentuk dan fungsinya bahkan di bawah perubahan suhu yang drastis, memastikan bahwa wafer tetap aman selama proses epitaxy tanpa gerakan atau misalignment.

ApalagiProses Epitaxysering melibatkan gas reaktif dan bahan kimia korosif lainnya. Ketidaksukaan kimia dari wafer SIC Chuck memastikan bahwa hal itu tidak terpengaruh oleh lingkungan yang keras ini, mempertahankan kinerjanya dan memperluas masa pakainya. Daya tahan kimia ini tidak hanya mengurangi frekuensi penggantian wafer chuck, tetapi juga memastikan kinerja produk yang konsisten selama beberapa siklus produksi, membantu meningkatkan efisiensi keseluruhan dan efektivitas biaya dari proses pembuatan semikonduktor.

Vetek Semiconductor adalah produsen dan pemasok terkemuka produk silikon karbida wafer chuck di Cina. Kami dapat menyediakan berbagai jenis produk chuck sepertiChuck keramik sic berpori, Chuck vakum sic berpori, Chuck vakum keramik berporiDanChuck yang dilapisi TAC, dll. Vetek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor. Kami dengan tulus berharap menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Data SEM dari CVDStruktur kristal film sic：

VETEK Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：