pemanas pelapis keramik silikon karbida

Itu semikonduktorPemanas pelapis keramik silikon karbida adalah pemanas yang dirancang untuk lingkungan suhu tinggi dan keras. Ini melapisi lapisan pelapis keramik karbon silikon (sic) pada permukaan elemen pemanasan untuk memberikan perlengkapan panas yang sangat baik, ketahanan korosi dan konduktivitas termal. 

Pemanas pelapis keramik silikon karbidaterutama digunakan dalam peralatan pelapisan vakum (penguapan). Metode yang umum digunakan adalah PCD (pengeringan kimia plasma) dan PVD (deposisi uap fisik), yang banyak digunakan dalam manufaktur semikonduktor dan aplikasi industri permintaan tinggi lainnya.

Dikombinasikan dengan desain pelapis kinerja tinggi dari pemanas lapisan keramik silikon karbida,Ini dapat memberikan solusi pemanasan yang sangat baik untuk proses suhu tinggi.

Konduktivitas termal yang sangat baik: Bahan SIC memiliki konduktivitas termal yang sangat baik, memastikan bahwa pemanas dapat mencapai distribusi panas yang seragam di area kerja dan mengurangi gradien suhu.

Memberikan distribusi panas yang seragam: Pemanas pelapis keramik silikon karbida menggunakan konduktivitas termal tinggi bahan SiC untuk mencapai distribusi suhu yang seragam di seluruh area pemanasan. Ini sangat penting untuk memastikan perlakuan panas yang seragam dari wafer semikonduktor dalam berbagai proses suhu tinggi seperti pemrosesan termal cepat (RTP), difusi dan oksidasi, menghindari cacat produk yang disebabkan oleh suhu overheating atau tidak merata lokal.

Toleransi suhu tinggi: SIC Coating memungkinkan pemanas menahan suhu yang sangat tinggi, biasanya hingga 1600 ° C, cocok untuk berbagai proses pemrosesan suhu tinggi.

Tingkatkan ketahanan panas: Karena lapisan dapat menahan suhu yang sangat tinggi, ia berkinerja baik dalam proses yang membutuhkan operasi suhu tinggi jangka panjang. Misalnya, dalam proses pengendapan uap kimia (CVD), pemanas pelapis keramik silikon karbida dapat memastikan pengoperasian peralatan yang stabil jangka panjang pada suhu tinggi dan mempertahankan kinerja pemanasan yang konsisten, sehingga meningkatkan pengulangan dan keandalan proses.

Resistensi Korosi Kimia: Lapisan SiC memiliki resistensi yang sangat tinggi terhadap gas, alkali dan gas korosif, dan dapat tetap stabil untuk waktu yang lama di lingkungan atmosfer kimia yang kompleks, memperpanjang umur peralatan. 

Memperluas umur peralatan: Lapisan SIC memiliki ketahanan oksidasi yang sangat baik dan ketahanan korosi, dan secara efektif dapat menahan erosi kimia dan oksidasi pada suhu tinggi. Ini sangat penting dalam proses pembuatan semikonduktor, terutama di lingkungan yang menangani gas dan bahan kimia korosif. Efek pelindung lapisan dapat secara signifikan memperpanjang masa pakai pemanas dan mengurangi frekuensi biaya penggantian peralatan dan pemeliharaan.

Sifat fisik dasar pemanas pelapis keramik silikon karbida:

VETEK Silicon Silicon Carbide Ceramic Coating Heater Shops:

Tinjauan Umum Rantai Industri Epitaksis Semikonduktor Vetek: