Produk

Lapisan Silikon Karbida

VeTek Semiconductor mengkhususkan diri dalam produksi produk Lapisan Silikon Karbida ultra murni, lapisan ini dirancang untuk diterapkan pada komponen logam grafit, keramik, dan tahan api yang dimurnikan.


Pelapis dengan kemurnian tinggi kami terutama ditargetkan untuk digunakan dalam industri semikonduktor dan elektronik. Mereka berfungsi sebagai lapisan pelindung untuk pembawa wafer, susceptor, dan elemen pemanas, melindunginya dari lingkungan korosif dan reaktif yang ditemui dalam proses seperti MOCVD dan EPI. Proses-proses ini merupakan bagian integral dari pemrosesan wafer dan pembuatan perangkat. Selain itu, pelapis kami sangat cocok untuk aplikasi dalam tungku vakum dan pemanasan sampel, di mana terdapat lingkungan vakum, reaktif, dan oksigen tinggi.


Di VeTek Semiconductor, kami menawarkan solusi komprehensif dengan kemampuan bengkel mesin canggih kami. Hal ini memungkinkan kami memproduksi komponen dasar menggunakan grafit, keramik, atau logam tahan api dan menerapkan pelapis keramik SiC atau TaC sendiri. Kami juga menyediakan layanan pelapisan untuk suku cadang yang dipasok pelanggan, memastikan fleksibilitas untuk memenuhi beragam kebutuhan.


Produk Silicon Carbide Coating kami banyak digunakan pada epitaksi Si, epitaksi SiC, sistem MOCVD, proses RTP/RTA, proses etsa, proses etsa ICP/PSS, proses berbagai jenis LED, antara lain LED biru dan hijau, LED UV dan UV dalam. LED dll, yang disesuaikan dengan peralatan dari LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI dan sebagainya.


Bagian reaktor yang bisa kita lakukan:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Lapisan Silikon Karbida memiliki beberapa keunggulan unik:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter Lapisan Silikon Karbida Semikonduktor VeTek

Sifat fisik dasar lapisan CVD SiC
Milik Nilai Khas
Struktur Kristal Polikristalin fase β FCC, terutama berorientasi (111).
Kepadatan lapisan SiC 3,21 gram/cm³
Lapisan SiCKekerasan Kekerasan Vickers 2500(beban 500g)
Ukuran Butir 2~10μm
Kemurnian Kimia 99,99995%
Kapasitas Panas 640J·kg-1·K-1
Suhu Sublimasi 2700℃
Kekuatan Lentur 415 MPa RT 4 titik
Modulus Muda tikungan 430 Gpa 4pt, 1300℃
Konduktivitas Termal 300W·m-1·K-1
Ekspansi Termal (CTE) 4,5×10-6K-1

STRUKTUR KRISTAL FILM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Gan Epitaxial Undertaker

Gan Epitaxial Undertaker

Sebagai pemasok dan produsen kerentanan epitaxial GAN ​​terkemuka di China, vetek semikonduktor GAN Epitaxial Ronsceptor adalah kerentanan presisi tinggi yang dirancang untuk proses pertumbuhan epitaxial GAN, yang digunakan untuk mendukung peralatan epitaxial seperti CVD dan MOCVD. Dalam pembuatan perangkat GAN (seperti perangkat elektronik daya, perangkat RF, LED, dll.), Rekan epitaxial GAN ​​membawa substrat dan mencapai deposisi berkualitas tinggi dari film tipis Gan di bawah lingkungan suhu tinggi. Selamat datang pertanyaan Anda lebih lanjut.
pembawa wafer berlapis SiC

pembawa wafer berlapis SiC

Sebagai pemasok dan produsen wafer coated wafer terkemuka di Cina, pembawa wafer berlapis SIC Vetek semikonduktor terbuat dari grafit berkualitas tinggi dan lapisan SIC CVD, yang memiliki stabilitas super dan dapat bekerja untuk waktu yang lama di sebagian besar reaktor epitaxial. Vetek Semiconductor memiliki kemampuan pemrosesan terkemuka di industri dan dapat memenuhi berbagai persyaratan khusus pelanggan untuk pembawa wafer yang dilapisi SiC. Vetek Semiconductor berharap dapat membangun hubungan kerja sama jangka panjang dengan Anda dan tumbuh bersama.
Pemanas MOCVD grafit Lapisan SiC

Pemanas MOCVD grafit Lapisan SiC

Vetek Semiconductor menghasilkan pemanas MOCVD grafit SIC, yang merupakan komponen kunci dari proses MOCVD. Berdasarkan substrat grafit dengan kemurnian tinggi, permukaan dilapisi dengan lapisan SIC dengan kemurnian tinggi untuk memberikan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik dan ketahanan korosi. Dengan layanan produk yang berkualitas tinggi dan sangat disesuaikan, pemanas MOCVD graphite graphite SIC Vetek Semiconductor adalah pilihan ideal untuk memastikan stabilitas proses MOCVD dan kualitas deposisi film tipis. Vetek Semiconductor berharap untuk menjadi pasangan Anda.
Silicon carbide coated ePI kerentanan

Silicon carbide coated ePI kerentanan

VeTek Semiconductor adalah produsen dan pemasok produk pelapis SiC terkemuka di Cina. Susceptor Epi berlapis silikon karbida VeTek Semiconductor memiliki tingkat kualitas terbaik di industri, cocok untuk berbagai gaya tungku pertumbuhan epitaksi, dan menyediakan layanan produk yang sangat disesuaikan. VeTek Semiconductor berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
SIC Coating Monocrystalline Silicon Silicon Epitaxial Tray

SIC Coating Monocrystalline Silicon Silicon Epitaxial Tray

Lapisan SiC Baki epitaksi silikon monokristalin adalah aksesori penting untuk tungku pertumbuhan epitaksi silikon monokristalin, memastikan polusi minimal dan lingkungan pertumbuhan epitaksi yang stabil. Lapisan SiC VeTek Semiconductor Baki epitaksi silikon monokristalin memiliki masa pakai yang sangat lama dan menyediakan berbagai opsi penyesuaian. VeTek Semiconductor berharap dapat menjadi mitra jangka panjang Anda di Tiongkok.
Pembawa wafer sic padat

Pembawa wafer sic padat

Pengangkut wafer SIC semikonduktor VETEK dirancang untuk lingkungan yang tahan suhu dan korosi tinggi dalam proses epitaxial semikonduktor dan cocok untuk semua jenis proses pembuatan wafer dengan persyaratan kemurnian tinggi. Vetek Semiconductor adalah pemasok operator wafer terkemuka di Cina dan berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di industri semikonduktor.
Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Silikon Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Silikon Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept