Lapisan Silikon Karbida

Kepala shower grafit yang dilapisi CVD SIC dari Veteksemicon adalah komponen kinerja tinggi yang dirancang khusus untuk proses uap kimia semikonduktor (CVD). Diproduksi dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilindungi dengan pelapis silikon karbida uap kimia (CVD), kepala shower ini memberikan daya tahan yang luar biasa, stabilitas termal, dan ketahanan terhadap gas proses korosif. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Pemegang wafer pelapis silikon karbida oleh Veteksemicon direkayasa untuk presisi dan kinerja dalam proses semikonduktor canggih seperti MOCVD, LPCVD, dan anil suhu tinggi. Dengan lapisan CVD SIC yang seragam, pemegang wafer ini memastikan konduktivitas termal yang luar biasa, inertness kimia, dan kekuatan mekanik-penting untuk pemrosesan wafer bebas kontaminasi, hasil tinggi.

Veteksemicon SIC Edge Cincin tepi tinggi, dirancang khusus untuk peralatan etsa semikonduktor, fitur ketahanan korosi yang luar biasa dan stabilitas termal, secara signifikan meningkatkan hasil wafer

Sebagai produsen dan pemasok produk pelapis silikon karbida silikon terkemuka, pembawa wafer berlapis SIC Veteksemicon untuk etsa memainkan peran inti yang tak tergantikan dalam proses etsa dengan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, resistansi korosi yang luar biasa dan konduktivitas termal yang tinggi.

Kerentanan wafer yang dilapisi CVD SIC Veteksemicon adalah solusi mutakhir untuk proses epitaxial semikonduktor, menawarkan kemurnian ultra-tinggi (≤100ppb, ICP-E10 bersertifikat) dan stabilitas termal/kimia yang luar biasa untuk pertumbuhan gan, SIC, dan SIC yang luar biasa. Direkayasa dengan teknologi CVD presisi, mendukung wafer 6 "/8"/12 ", memastikan tegangan termal minimal, dan menahan suhu ekstrem hingga 1600 ° C.

Kerentanan planet yang dilapisi SIC kami adalah komponen inti dalam proses suhu tinggi manufaktur semikonduktor. Desainnya menggabungkan substrat grafit dengan lapisan silikon karbida untuk mencapai optimalisasi komprehensif kinerja manajemen termal, stabilitas kimia dan kekuatan mekanik.