Lapisan Silikon Karbida

Veteksemicon SIC Edge Cincin tepi tinggi, dirancang khusus untuk peralatan etsa semikonduktor, fitur ketahanan korosi yang luar biasa dan stabilitas termal, secara signifikan meningkatkan hasil wafer

Sebagai produsen dan pemasok produk pelapis silikon karbida silikon terkemuka, pembawa wafer berlapis SIC Veteksemicon untuk etsa memainkan peran inti yang tak tergantikan dalam proses etsa dengan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, resistansi korosi yang luar biasa dan konduktivitas termal yang tinggi.

Kerentanan wafer yang dilapisi CVD SIC Veteksemicon adalah solusi mutakhir untuk proses epitaxial semikonduktor, menawarkan kemurnian ultra-tinggi (≤100ppb, ICP-E10 bersertifikat) dan stabilitas termal/kimia yang luar biasa untuk pertumbuhan gan, SIC, dan SIC yang luar biasa. Direkayasa dengan teknologi CVD presisi, mendukung wafer 6 "/8"/12 ", memastikan tegangan termal minimal, dan menahan suhu ekstrem hingga 1600 ° C.

Kerentanan planet yang dilapisi SIC kami adalah komponen inti dalam proses suhu tinggi manufaktur semikonduktor. Desainnya menggabungkan substrat grafit dengan lapisan silikon karbida untuk mencapai optimalisasi komprehensif kinerja manajemen termal, stabilitas kimia dan kekuatan mekanik.

Cincin penyegelan yang dilapisi SIC kami untuk epitaxy adalah komponen penyegelan berkinerja tinggi berdasarkan grafit atau komposit karbon-karbon yang dilapisi dengan silikon karbida dengan kemurnian tinggi (sic) dengan deposisi uap kimia (CVD), yang menggabungkan stabilitas termal grafit dengan resistansi lingkungan ekstrem dari SIC, dan dirancang untuk semikon.

Veteksemicon Single Wafer Epi Graphite Ronsceptor dirancang untuk silikon karbida kinerja tinggi (SiC), Gallium nitride (GAN) dan proses epitaxial semikonduktor generasi ketiga lainnya, dan merupakan komponen inti dari lembar epitaxial presisi tinggi dalam produksi massal. Datang dengan penyelidikan Anda lebih lanjut.