Lapisan Silikon Karbida

Kerentanan wafer yang dilapisi CVD SIC Veteksemicon adalah solusi mutakhir untuk proses epitaxial semikonduktor, menawarkan kemurnian ultra-tinggi (≤100ppb, ICP-E10 bersertifikat) dan stabilitas termal/kimia yang luar biasa untuk pertumbuhan gan, SIC, dan SIC yang luar biasa. Direkayasa dengan teknologi CVD presisi, mendukung wafer 6 "/8"/12 ", memastikan tegangan termal minimal, dan menahan suhu ekstrem hingga 1600 ° C.

Kerentanan planet yang dilapisi SIC kami adalah komponen inti dalam proses suhu tinggi manufaktur semikonduktor. Desainnya menggabungkan substrat grafit dengan lapisan silikon karbida untuk mencapai optimalisasi komprehensif kinerja manajemen termal, stabilitas kimia dan kekuatan mekanik.

Cincin penyegelan yang dilapisi SIC kami untuk epitaxy adalah komponen penyegelan berkinerja tinggi berdasarkan grafit atau komposit karbon-karbon yang dilapisi dengan silikon karbida dengan kemurnian tinggi (sic) dengan deposisi uap kimia (CVD), yang menggabungkan stabilitas termal grafit dengan resistansi lingkungan ekstrem dari SIC, dan dirancang untuk semikon.

Veteksemicon Single Wafer Epi Graphite Ronsceptor dirancang untuk silikon karbida kinerja tinggi (SiC), Gallium nitride (GAN) dan proses epitaxial semikonduktor generasi ketiga lainnya, dan merupakan komponen inti dari lembar epitaxial presisi tinggi dalam produksi massal. Datang dengan penyelidikan Anda lebih lanjut.

Komponen penting yang digunakan dalam proses etsa fabrikasi wafer adalah cincin fokus etsa plasma, yang fungsinya adalah untuk menahan wafer di tempat untuk mempertahankan kepadatan plasma dan mencegah kontaminasi sisi wafer. Vetek semikonduktor memberikan cincin fokus plasma dengan silicon monokristalin, silicon silicon, silicon carbide. Silicon carbide.

Vetek Semiconductor adalah produsen dan pemasok e-chuck yang dilapisi SIC di Cina. E-Chuck yang dilapisi SIC dirancang khusus untuk proses etsa wafer Gan, dengan kinerja yang sangat baik dan umur layanan yang panjang, untuk memberikan dukungan serba untuk manufaktur semikonduktor Anda. Kemampuan pemrosesan kami yang kuat memungkinkan kami untuk memberi Anda kerentanan keramik SIC yang Anda inginkan. Menantikan pertanyaan Anda.