Lapisan Silikon Karbida

Susceptor grafit berlapis Veteksemicon SiC untuk ASM adalah komponen pembawa inti dalam proses epitaksi semikonduktor. Produk ini menggunakan teknologi pelapisan silikon karbida pirolitik milik kami dan proses pemesinan presisi untuk memastikan kinerja unggul dan masa pakai yang sangat lama di lingkungan proses bersuhu tinggi dan korosif. Kami sangat memahami persyaratan ketat proses epitaxial pada kemurnian substrat, stabilitas termal, dan konsistensi, dan berkomitmen untuk menyediakan solusi yang stabil dan andal kepada pelanggan yang meningkatkan kinerja peralatan secara keseluruhan.

Cincin fokus Veteksemicon dirancang khusus untuk peralatan etsa semikonduktor yang menuntut, khususnya aplikasi etsa SiC. Dipasang di sekitar pencekam elektrostatis (ESC), di dekat wafer, fungsi utamanya adalah mengoptimalkan distribusi medan elektromagnetik di dalam ruang reaksi, memastikan aksi plasma seragam dan terfokus di seluruh permukaan wafer. Cincin fokus berperforma tinggi secara signifikan meningkatkan keseragaman tingkat etsa dan mengurangi efek tepi, sehingga secara langsung meningkatkan hasil produk dan efisiensi produksi.

Pelat Pembawa Silikon Karbida Veteksemicon Untuk Etsa LED, yang dirancang khusus untuk pembuatan chip LED, adalah bahan habis pakai inti dalam proses etsa. Terbuat dari silikon karbida kemurnian tinggi yang disinter secara presisi, ia menawarkan ketahanan kimia yang luar biasa dan stabilitas dimensi suhu tinggi, secara efektif menahan korosi dari asam kuat, basa, dan plasma. Sifat kontaminasinya yang rendah memastikan hasil yang tinggi untuk wafer epitaksi LED, sementara daya tahannya, jauh melebihi bahan tradisional, membantu pelanggan mengurangi biaya pengoperasian secara keseluruhan, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk meningkatkan efisiensi dan konsistensi proses etsa.

Cincin fokus SiC padat Veteksemi secara signifikan meningkatkan keseragaman etsa dan stabilitas proses dengan mengontrol medan listrik dan aliran udara secara tepat di tepi wafer. Ini banyak digunakan dalam proses etsa presisi untuk silikon, dielektrik, dan bahan semikonduktor majemuk, dan merupakan komponen kunci untuk memastikan hasil produksi massal dan pengoperasian peralatan yang andal dalam jangka panjang.

Kepala shower grafit yang dilapisi CVD SIC dari Veteksemicon adalah komponen kinerja tinggi yang dirancang khusus untuk proses uap kimia semikonduktor (CVD). Diproduksi dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilindungi dengan pelapis silikon karbida uap kimia (CVD), kepala shower ini memberikan daya tahan yang luar biasa, stabilitas termal, dan ketahanan terhadap gas proses korosif. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Pemegang wafer pelapis silikon karbida oleh Veteksemicon direkayasa untuk presisi dan kinerja dalam proses semikonduktor canggih seperti MOCVD, LPCVD, dan anil suhu tinggi. Dengan lapisan CVD SIC yang seragam, pemegang wafer ini memastikan konduktivitas termal yang luar biasa, inertness kimia, dan kekuatan mekanik-penting untuk pemrosesan wafer bebas kontaminasi, hasil tinggi.