Lapisan Silikon Karbida

Pelat Pembawa Silikon Karbida Veteksemicon Untuk Etsa LED, yang dirancang khusus untuk pembuatan chip LED, adalah bahan habis pakai inti dalam proses etsa. Terbuat dari silikon karbida kemurnian tinggi yang disinter secara presisi, ia menawarkan ketahanan kimia yang luar biasa dan stabilitas dimensi suhu tinggi, secara efektif menahan korosi dari asam kuat, basa, dan plasma. Sifat kontaminasinya yang rendah memastikan hasil yang tinggi untuk wafer epitaksi LED, sementara daya tahannya, jauh melebihi bahan tradisional, membantu pelanggan mengurangi biaya pengoperasian secara keseluruhan, menjadikannya pilihan yang dapat diandalkan untuk meningkatkan efisiensi dan konsistensi proses etsa.

Cincin fokus SiC padat Veteksemi secara signifikan meningkatkan keseragaman etsa dan stabilitas proses dengan mengontrol medan listrik dan aliran udara secara tepat di tepi wafer. Ini banyak digunakan dalam proses etsa presisi untuk silikon, dielektrik, dan bahan semikonduktor majemuk, dan merupakan komponen kunci untuk memastikan hasil produksi massal dan pengoperasian peralatan yang andal dalam jangka panjang.

Kepala shower grafit yang dilapisi CVD SIC dari Veteksemicon adalah komponen kinerja tinggi yang dirancang khusus untuk proses uap kimia semikonduktor (CVD). Diproduksi dari grafit dengan kemurnian tinggi dan dilindungi dengan pelapis silikon karbida uap kimia (CVD), kepala shower ini memberikan daya tahan yang luar biasa, stabilitas termal, dan ketahanan terhadap gas proses korosif. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Pemegang wafer pelapis silikon karbida oleh Veteksemicon direkayasa untuk presisi dan kinerja dalam proses semikonduktor canggih seperti MOCVD, LPCVD, dan anil suhu tinggi. Dengan lapisan CVD SIC yang seragam, pemegang wafer ini memastikan konduktivitas termal yang luar biasa, inertness kimia, dan kekuatan mekanik-penting untuk pemrosesan wafer bebas kontaminasi, hasil tinggi.

Veteksemicon SIC Edge Cincin tepi tinggi, dirancang khusus untuk peralatan etsa semikonduktor, fitur ketahanan korosi yang luar biasa dan stabilitas termal, secara signifikan meningkatkan hasil wafer

Sebagai produsen dan pemasok produk pelapis silikon karbida silikon terkemuka, pembawa wafer berlapis SIC Veteksemicon untuk etsa memainkan peran inti yang tak tergantikan dalam proses etsa dengan stabilitas suhu tinggi yang sangat baik, resistansi korosi yang luar biasa dan konduktivitas termal yang tinggi.