Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Produk

Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.


Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.


Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.


Fitur Utama:

 ●Stabilitas suhu

 ●Kemurnian sangat tinggi

 ●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

 ●Ketahanan terhadap stok termal

 ●Daya rekat kuat pada grafit

 ●Cakupan lapisan konformal

 ● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Penerima pemanasan induktif

 ● Elemen pemanas resistif

 ●Disk satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin panduan

 ●Penerima Epi LED

 ●Nozel injeksi

 ●Cincin penyamaran

 ● Pelindung panas


Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan 14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik 0.3
Koefisien ekspansi termal 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000HK
Perlawanan 1×10-5Ohm*cm
Stabilitas termal <2500℃
Perubahan ukuran grafit -10~-20um
Ketebalan lapisan Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)


Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen Persen atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Rata-rata
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Mereka 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Panduan Pelapis TAC berdering

Panduan Pelapis TAC berdering

Sebagai produsen terkemuka produk cincin pelapis TAC di Cina, cincin pemandu berlapis TAC semikonduktor VETEK adalah komponen penting dalam peralatan MOCVD, memastikan pengiriman gas yang akurat dan stabil selama pertumbuhan epitaxial, dan merupakan bahan yang sangat diperlukan dalam pertumbuhan epitaxial semikonduktor. Selamat datang untuk berkonsultasi dengan kami.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Cincin berlapis tantalum carbide

Cincin berlapis tantalum carbide

Sebagai inovator profesional dan pemimpin produk cincin berlapis Tantalum karbida di Cina, Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Cincin yang dilapisi memainkan peran yang tak tergantikan dalam pertumbuhan kristal SiC dengan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan aus dan konduktivitas termal yang sangat baik. Selamat datang konsultasi lebih lanjut Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Porous tantalum carbide

Porous tantalum carbide

Vetek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk -produk Tantalum Carbide berpori di Cina. Porous tantalum carbide biasanya diproduksi dengan metode uap kimia (CVD), memastikan kontrol yang tepat dari ukuran dan distribusi pori, dan merupakan alat material yang didedikasikan untuk lingkungan ekstrem suhu tinggi. Selamat datang konsultasi lebih lanjut Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Ring Panduan Pelapisan TAC

Ring Panduan Pelapisan TAC

Cincin Panduan Pelapisan TaC Semikonduktor VeTek dibuat dengan menerapkan lapisan tantalum karbida ke bagian grafit menggunakan teknik canggih yang disebut deposisi uap kimia (CVD). Metode ini sudah mapan dan menawarkan sifat pelapisan yang luar biasa. Dengan memanfaatkan Cincin Panduan Pelapisan TaC, masa pakai komponen grafit dapat diperpanjang secara signifikan, pergerakan pengotor grafit dapat ditekan, dan kualitas kristal tunggal SiC dan AIN dapat dipertahankan dengan andal. Selamat datang untuk menanyakan kami.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Cincin karbida tantalum

Cincin karbida tantalum

Sebagai produsen dan produsen produk cincin karbida tantalum canggih di Cina, Cincin Tantalum Carbide semikonduktor Vetek memiliki kekerasan yang sangat tinggi, ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi dan stabilitas kimia, dan banyak digunakan di bidang manufaktur semikonduktor. Terutama dalam CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, dan pemrosesan dan transportasi wafer, ini adalah produk yang sangat diperlukan untuk pemrosesan dan pembuatan semikonduktor. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Dukungan Lapisan Tantalum Carbide

Dukungan Lapisan Tantalum Carbide

Sebagai produsen produk dan pabrik pendukung pelapisan tantalum karbida profesional di Cina, Vetek semikonduktor tantalum karbida dukungan biasanya digunakan untuk lapisan permukaan komponen struktural atau komponen pendukung dalam peralatan semikonduktor, terutama untuk perlindungan permukaan komponen peralatan utama dalam proses manufaktur semikonduktor seperti CVD dan PVD. Selamat datang konsultasi lebih lanjut Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
Rekomendasi Berita
Bagaimana cara memilih nampan grafit mocvd?
Bagaimana cara memilih nampan grafit mocvd?Lihat Lebih Banyak >>
Penjelasan lengkap tentang proses pembuatan chip (1/2): Dari wafer hingga pengemasan dan pengujian
Penjelasan lengkap tentang proses pembuatan chip (1/2): Dari wafer hingga pengemasan dan pengujianLihat Lebih Banyak >>
Masih khawatir tentang kinerja materi di lingkungan suhu tinggi?
Masih khawatir tentang kinerja materi di lingkungan suhu tinggi?Lihat Lebih Banyak >>
Bagaimana pelapisan TAC meningkatkan masa pakai komponen grafit? - Vetek Semiconductor
Bagaimana pelapisan TAC meningkatkan masa pakai komponen grafit? - Vetek SemiconductorLihat Lebih Banyak >>
3 pemasok material kuarsa teratas di dunia
3 pemasok material kuarsa teratas di duniaLihat Lebih Banyak >>
Penerapan bahan medan termal berbasis karbon dalam pertumbuhan kristal silikon karbida
Penerapan bahan medan termal berbasis karbon dalam pertumbuhan kristal silikon karbidaLihat Lebih Banyak >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept