Cincin Dilapisi TAC

Veteksemi TAC Coated Ring adalah komponen kinerja tinggi yang dirancang untuk proses pembuatan semikonduktor. Lapisan Tantalum Carbide (TAC) yang dirancang unik memberikan produk ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, ketahanan korosi dan stabilitas mekanis, secara signifikan meningkatkan masa pakai dan keandalan komponen grafit dalam peralatan semikonduktor.

Kinerja superior pelapis tantalum carbide ：

● Resistensi suhu ultra-tinggi: Pelapisan TAC dapat dengan mudah menahan suhu ekstrem hingga 2200 ° C dan tetap stabil di bawah lingkungan kejut termal yang umum pada manufaktur semikonduktor.

● Stabilitas kimia yang sangat baik: Lapisan menunjukkan resistensi yang kuat terhadap gas korosif umum seperti hidrogen, amonia, silan dan silikon, secara efektif melindungi substrat dari serangan kimia.

● Sifat mekanik yang sangat baik: Pelapisan TAC memiliki kekerasan tinggi, ketahanan aus yang tinggi dan ketahanan guncangan termal yang baik, dan dapat beroperasi secara stabil untuk waktu yang lama di bawah kondisi kerja yang keras.

● Adhesi yang sangat baik: Lapisan terikat erat dengan substrat grafit, secara efektif mencegah lapisan dari mengelupas dan memastikan kinerja yang konsisten sepanjang masa layanan produk.

● Kemurnian tinggi: Pelapisan TAC yang disiapkan oleh CVD memiliki kemurnian yang sangat tinggi, yang meminimalkan pengenalan kotoran dan menyediakan lingkungan proses yang bersih untuk pembuatan semikonduktor.

Keuntungan cincin berlapis Tantalum carbide:

● Umur peralatan yang diperpanjang: TAC Coating secara efektif memblokir reaksi kimia dan difusi pengotor, secara signifikan memperpanjang masa pakai komponen grafit dan mengurangi biaya perawatan.

● Meningkatkan efisiensi produksi: Resistensi suhu tinggi dan resistensi korosi memungkinkannya untuk beroperasi dalam kondisi yang lebih menuntut, memperpendek siklus produksi dan meningkatkan kapasitas produksi.

● Kualitas produk yang lebih baik: Lapisan TAC kemurnian tinggi membantu mengurangi kontaminasi, memastikan kualitas dan konsistensi produk semikonduktor.

Vetek Semiconductor telah berspesialisasi dalam produk pelapis TAC sepertiTAC Coating Chuck, Pelat rotasi pelapis TAC, TAC Coating Subser, TAC Coated Wafer Ronsceptorselama bertahun -tahun. Produk cincin yang dilapisi TAC kami memiliki fungsi masa pakai peralatan yang diperluas, peningkatan efisiensi produksi dan peningkatan kualitas produk. Pada saat yang sama, Vetek Semiconductor telah lama berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor. 

Karena sifat kimia yang berbeda dari bahan grafit dan tantalum karbida, koefisien ekspansi termal tidak akan cocok, dan mudah dipanaskan pada suhu tinggi dengan semikonduktor vetek melalui proses spesifik untuk mempromosikan pembentukan grafik tantalum carbide yang sebagian diendapkan pada permukaan matrix, dan sebagian ditarik ke dalam tantalum carbide yang ditarik. Dengan cara ini, lapisan tantalum karbida bersarang dalam matriks grafit melalui pertumbuhan in-situ, yang secara signifikan meningkatkan kekuatan pengikatan antara lapisan dan matriks dan secara efektif mencegah pengelupasan lapisan Tantalum carbide. Kami dengan tulus berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda di Cina.

Tantalum carbide cincin cincin toko: