Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Produk

Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.


Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.


Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:


Excellent properties of TaC coating graphite


Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.


Fitur Utama:

 ●Stabilitas suhu

 ●Kemurnian sangat tinggi

 ●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

 ●Ketahanan terhadap stok termal

 ●Daya rekat kuat pada grafit

 ●Cakupan lapisan konformal

 ● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)


Aplikasi:

 ●Pembawa wafer

 ● Penerima pemanasan induktif

 ● Elemen pemanas resistif

 ●Disk satelit

 ●Kepala pancuran

 ●Cincin panduan

 ●Penerima Epi LED

 ●Nozel injeksi

 ●Cincin penyamaran

 ● Pelindung panas


Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan 14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik 0.3
Koefisien ekspansi termal 6.3 10-6/K
Kekerasan (HK) 2000HK
Perlawanan 1×10-5Ohm*cm
Stabilitas termal <2500℃
Perubahan ukuran grafit -10~-20um
Ketebalan lapisan Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)


Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating


Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen Persen atom
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Rata-rata
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Mereka 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida

Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida

Tantalum Carbide Coated Porous Graphite merupakan produk yang sangat diperlukan dalam proses pemrosesan semikonduktor, terutama dalam proses pertumbuhan kristal SIC. Setelah investasi R&D berkelanjutan dan peningkatan teknologi, kualitas produk Grafit Berpori Berlapis TaC Semikonduktor VeTek telah mendapat pujian tinggi dari pelanggan Eropa dan Amerika. Selamat datang di konsultasi Anda selanjutnya.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC

Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC

CVD TAC Coating Planetary SIC Epitaxial Rumceptor adalah salah satu komponen inti dari reaktor planet MOCVD. Melalui CVD TAC Coating Planetary SIC SCITAXIAL SUMPECTOR, orbit disk yang besar dan disk kecil berputar, dan model aliran horizontal diperluas ke mesin multi-chip, sehingga ia memiliki manajemen seragam gelombang epitaxial berkualitas tinggi dan defek optimisasi tunggal Mesin -Chip dan Keuntungan Biaya Produksi Mesin Multi-Chip. Vetek Semiconductor dapat memberi pelanggan CVD TAC Coating CVD yang sangat disesuaikan, planet SIC Epitaxial Ronsceptor. Jika Anda juga ingin membuat tungku MOCVD planet seperti Aixtron, datanglah kepada kami!
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Cincin Dilapisi TAC

Cincin Dilapisi TAC

Sebagai produsen dan pemasok terkemuka produk cincin berlapis TAC di Cina, Vetek Semiconductor telah berfokus pada R&D dan produksi berbagai produk pelapis TAC. Sebagai pelanggan utama produk pelapis TAC, produsen Eropa dan Amerika telah memberikan pujian tinggi pada produk pelapis kami. Selamat datang di konsultasi selanjutnya.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Gan Epitaxy Undertaker

Gan Epitaxy Undertaker

Vetek Semiconductor adalah perusahaan Tiongkok yang merupakan produsen dan pemasok kelas Gan Epitaxy yang berkelas. Kami telah bekerja di industri semikonduktor seperti pelapis silikon karbida dan kerentanan epitaks Gan untuk waktu yang lama. Kami dapat memberi Anda produk yang sangat baik dan harga yang menguntungkan. Vetek Semiconductor berharap untuk menjadi mitra jangka panjang Anda.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
TAC Coated Wafer Ronsceptor

TAC Coated Wafer Ronsceptor

VETEK Semiconductor TAC Coated Wafer Ronsceptor adalah baki grafit yang dilapisi dengan Tantalum carbide untuk pertumbuhan epitaxial silikon karbida untuk meningkatkan kualitas dan kinerja wafer. Vetek dipilih karena teknologi pelapisan canggih dan solusi yang tahan lama untuk memastikan hasil epitaxy SiC yang sangat baik dan kehidupan kerentanan yang diperluas, menyambut pertanyaan Anda lebih lanjut.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Panduan Pelapis TAC berdering

Panduan Pelapis TAC berdering

Sebagai produsen terkemuka produk cincin pelapis TAC di Cina, cincin pemandu berlapis TAC semikonduktor VETEK adalah komponen penting dalam peralatan MOCVD, memastikan pengiriman gas yang akurat dan stabil selama pertumbuhan epitaxial, dan merupakan bahan yang sangat diperlukan dalam pertumbuhan epitaxial semikonduktor. Selamat datang untuk berkonsultasi dengan kami.
Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>
Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.
Rekomendasi Berita
Karakteristik epitaks silikon
Karakteristik epitaks silikonLihat Lebih Banyak >>
Tantalum Carbide Technology Breakthrough, polusi epitaxial SIC berkurang sebesar 75%?
Tantalum Carbide Technology Breakthrough, polusi epitaxial SIC berkurang sebesar 75%?Lihat Lebih Banyak >>
Apa itu grafit berpori kemurnian tinggi?
Apa itu grafit berpori kemurnian tinggi?Lihat Lebih Banyak >>
Apa perbedaan antara grafit isotropik dan grafit silikon?
Apa perbedaan antara grafit isotropik dan grafit silikon?Lihat Lebih Banyak >>
Mengapa lapisan Tantalum carbide (TAC) lebih unggul dari lapisan silikon karbida (sic) dalam pertumbuhan kristal tunggal SiC? - Vetek Semiconductor
Mengapa lapisan Tantalum carbide (TAC) lebih unggul dari lapisan silikon karbida (sic) dalam pertumbuhan kristal tunggal SiC? - Vetek SemiconductorLihat Lebih Banyak >>
Apa perbedaan antara TAC CVD dan TAC yang disinter?
Apa perbedaan antara TAC CVD dan TAC yang disinter?Lihat Lebih Banyak >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept