Lapisan Tantalum Karbida

Semikonduktor VeTek adalah produsen terkemuka bahan Pelapis Tantalum Karbida untuk industri semikonduktor. Penawaran produk utama kami meliputi komponen pelapis tantalum karbida CVD, komponen pelapis TaC sinter untuk pertumbuhan kristal SiC, atau proses epitaksi semikonduktor. Lulus ISO9001, VeTek Semiconductor memiliki kontrol kualitas yang baik. VeTek Semiconductor berdedikasi untuk menjadi inovator dalam industri Pelapisan Tantalum Karbida melalui penelitian berkelanjutan dan pengembangan teknologi berulang.

Produk utamanya adalahCincin Panduan Dilapisi TaC, Cincin pemandu tiga kelopak berlapis CVD TaC, Halfmoon Dilapisi Tantalum Karbida TaC, Suseptor epitaksi planetary SiC yang dilapisi CVD TaC, Cincin Pelapis Tantalum Karbida, Grafit Berpori Dilapisi Tantalum Karbida, Suseptor Rotasi Lapisan TaC, Cincin Tantalum Karbida, Pelat Rotasi Lapisan TaC, Suseptor wafer berlapis TaC, Cincin Deflektor Dilapisi TaC, Penutup Lapisan CVD TaC, Chuck Dilapisi TaCdll., kemurniannya di bawah 5ppm, dapat memenuhi kebutuhan pelanggan.

Grafit pelapis TaC dibuat dengan melapisi permukaan substrat grafit dengan kemurnian tinggi dengan lapisan halus tantalum karbida melalui proses Deposisi Uap Kimia (CVD) yang dipatenkan. Keuntungannya ditunjukkan pada gambar di bawah ini:

Excellent properties of TaC coating graphite

Lapisan tantalum karbida (TaC) telah mendapat perhatian karena titik lelehnya yang tinggi hingga 3880°C, kekuatan mekanik yang sangat baik, kekerasan, dan ketahanan terhadap guncangan termal, menjadikannya alternatif yang menarik untuk proses epitaksi semikonduktor majemuk dengan persyaratan suhu lebih tinggi, seperti sistem Aixtron MOCVD dan proses epitaksi LPE SiC. Ini juga memiliki aplikasi luas dalam proses pertumbuhan kristal SiC metode PVT.

Fitur Utama:

●Stabilitas suhu

●Kemurnian sangat tinggi

●Ketahanan terhadap H2, NH3, SiH4,Si

●Ketahanan terhadap stok termal

●Daya rekat kuat pada grafit

●Cakupan lapisan konformal

● Ukuran diameter hingga 750 mm (Satu-satunya pabrikan di China yang mencapai ukuran ini)

Aplikasi:

●Pembawa wafer

● Penerima pemanasan induktif

● Elemen pemanas resistif

●Disk satelit

●Kepala pancuran

●Cincin panduan

●Penerima Epi LED

●Nozel injeksi

●Cincin penyamaran

● Pelindung panas

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Sifat fisik lapisan TaC
Kepadatan	14,3 (g/cm³)
Emisivitas spesifik	0.3
Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
Kekerasan (HK)	2000HK
Perlawanan	1×10^-5Ohm*cm
Stabilitas termal	<2500℃
Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Data EDX pelapisan TaC：

EDX data of TaC coating

Data struktur kristal pelapis TaC:

Elemen	Persen atom
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Rata-rata
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Mereka	47.90	42.59	47.63	46.04

Chuck Pelapis TaC Disk Planet Lapisan TaC
Pelat Dilapisi TaC Pelat Rotasi Lapisan TaC Penerima lapisan TaC Penutup lapisan CVD TaC Cincin Pelapis CVD TaC Pelat Pelapis TaC

View as

Cincin karbida tantalum

Sebagai produsen dan produsen produk cincin karbida tantalum canggih di Cina, Cincin Tantalum Carbide semikonduktor Vetek memiliki kekerasan yang sangat tinggi, ketahanan aus, ketahanan suhu tinggi dan stabilitas kimia, dan banyak digunakan di bidang manufaktur semikonduktor. Terutama dalam CVD, PVD, proses implantasi ion, proses etsa, dan pemrosesan dan transportasi wafer, ini adalah produk yang sangat diperlukan untuk pemrosesan dan pembuatan semikonduktor. Menantikan konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Dukungan Lapisan Tantalum Carbide

Sebagai produsen produk dan pabrik pendukung pelapisan tantalum karbida profesional di Cina, Vetek semikonduktor tantalum karbida dukungan biasanya digunakan untuk lapisan permukaan komponen struktural atau komponen pendukung dalam peralatan semikonduktor, terutama untuk perlindungan permukaan komponen peralatan utama dalam proses manufaktur semikonduktor seperti CVD dan PVD. Selamat datang konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Cincin pemandu tantalum carbide

Vetek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin produk cincin panduan tantalum carbide di Cina. Cincin panduan Tantalum Carbide (TAC) kami adalah komponen cincin berkinerja tinggi yang terbuat dari tantalum carbide, yang umumnya digunakan dalam peralatan pemrosesan semikonduktor, terutama dalam lingkungan suhu tinggi dan sangat korosif seperti CVD, PVD, etsa dan difusi. Vetek Semiconductor berkomitmen untuk menyediakan teknologi canggih dan solusi produk untuk industri semikonduktor, dan menyambut pertanyaan Anda lebih lanjut.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

TAC Coating Rotation Rumceptor

Sebagai produsen profesional, inovator, dan pemimpin produk kerentanan rotasi pelapis TAC di Cina. VETEK Semiconductor TAC Coating Rotation Ronsceptor biasanya dipasang dalam Deposisi Uap Kimia (CVD) dan peralatan Balok Epitaxy (MBE) molekul untuk mendukung dan memutar wafer untuk memastikan deposisi material yang seragam dan reaksi yang efisien. Ini adalah komponen kunci dalam pemrosesan semikonduktor. Selamat datang konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

CVD TAC Coating Crucible

Vetek Semiconductor adalah produsen profesional dan pemimpin CVD TAC Coating Products di Cina. CVD TAC Coating Crucible didasarkan pada lapisan karbon tantalum (TAC). Lapisan karbon tantalum ditutupi secara merata pada permukaan wadah melalui proses uap kimia (CVD) untuk meningkatkan ketahanan panas dan ketahanan korosi. Ini adalah alat material yang digunakan secara khusus dalam lingkungan ekstrem suhu tinggi. Selamat datang konsultasi lebih lanjut Anda.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

CVD TAC Coating Wafer Carrier

Sebagai produsen produk dan pabrik pembawa CVD TAC Profesional CVD di China, Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier adalah alat pembawa wafer yang dirancang khusus untuk suhu tinggi dan lingkungan korosif dalam manufaktur semikonduktor. dan CVD TAC Coating Wafer Carrier memiliki kekuatan mekanik yang tinggi, ketahanan korosi yang sangat baik dan stabilitas termal, memberikan jaminan yang diperlukan untuk pembuatan perangkat semikonduktor berkualitas tinggi. Pertanyaan selanjutnya Anda dipersilakan.

Lihat Lebih Banyak >> mengirimkan permintaan >>

Sebagai produsen dan pemasok profesional Lapisan Tantalum Karbida di Cina, kami memiliki pabrik kami sendiri. Apakah Anda memerlukan layanan khusus untuk memenuhi kebutuhan spesifik wilayah Anda atau ingin membeli Lapisan Tantalum Karbida lanjutan dan tahan lama yang dibuat di Cina, Anda dapat meninggalkan pesan kepada kami.

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
Surel
anny@veteksemi.com
Alamat
Jalan Wangda, Jalan Ziyang, Wilayah Wuyi, Kota Jinhua, Provinsi Zhejiang, Cina

Menu Web

Pencarian Produk

Bahasa

Menu Keluar

Lapisan Tantalum Karbida

Fitur Utama:

Aplikasi:

Lapisan Tantalum karbida (TaC) pada penampang mikroskopis:

Parameter Lapisan Tantalum Karbida Semikonduktor VeTek:

Data EDX pelapisan TaC：

Data struktur kristal pelapis TaC:

Cincin karbida tantalum

Dukungan Lapisan Tantalum Carbide

Cincin pemandu tantalum carbide

TAC Coating Rotation Rumceptor

CVD TAC Coating Crucible

CVD TAC Coating Wafer Carrier

mengirimkan permintaan

Kode QR

Tentang kami

Produk

Hubungi kami

Telepon

Fax

Surel

Alamat